中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9251462 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE (AMAT Producer SE)は、半導体デバイスの製造に使用されるシングルウェーハリアクタです。半導体および関連デバイスにおける材料の層の堆積に関連するアプリケーションのために特別に設計された垂直炉です。APPLIED MATERIALS Producer SEは、酸化物、窒化物、炭化物、およびアモルファスシリコンなどの複合材料を含む多種多様な蒸着材料をサポートすることができます。ベース圧力は5x10-6 torr未満で、チャンバーサイズは4"です。また、高級セラミック素材で作られた石英チャンバーと加熱プレートを備えています。加熱プレートは、1200°Cの温度、および温度ランプ、線形方程式、または個々のステップまでサポートできます。熱制御はユーザーフレンドリーで、50°Cと1200°Cの間の範囲があります。また、ウェーハに均一な蒸着を確保するための回転チャックを装備しています。Producer SEの主な特徴は、信頼性と再現性です。プロセスチャンバーは、セラミック発熱体とモデル制御温度プロファイルを使用しており、精密な温度制御を可能にし、一貫したプロセス結果を保証します。さらに、チャンバーはアウトガスレートが低く、動作前にベークアウトを必要としません。この装置はまた、システムのプロセスの成功を確実にするのに役立つ自動エンドポイント検出機能を備えており、幅広い材料にプログラムすることができます。さらに、ユニットには統合されたガス管理機があります。これは、プロセス中に正確かつ安定したガス供給を確保するのに役立ちます。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、半導体およびデバイス用途向けの強力なツールです。それは精密なプロセス制御を提供し、低い所有権の費用を伴い、一貫した結果のために信頼できます。このツールは、成膜材料の広い範囲に使用することができ、再現性と成功したウェーハ処理ソリューションを必要とする人々のための強力なソリューションです。
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