中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9240191 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは半導体ウェーハの製造のために半導体産業で使用されるように設計されたタイプの原子炉です。これは、熱化されたソース、ガス供給装置、電極のシステム、およびウェーハをさまざまなガス処理に適用できる真空チャンバーで構成されています。AMAT Producer SEは、酸化ケイ素、ポリシリコン、および関連材料の化学蒸着にホットフィラメントユニットを使用しています。フィラメントの熱表面は、揮発性化学物質の分解を可能にするために、必要な温度（典型的には600°C）に加熱されます。蒸気が十分に分解された後、それらは制御された圧力と流量で真空チャンバに導入され、そこでウェーハ表面に堆積されます。ソースと電極は、チャンバー内の結合ガス環境の均一性を維持するのに役立ちます。電極には2つの機能があります。1つは、蒸着プロセスを支援する負のDCバイアス電圧を維持すること、もう1つは正しいチャンバー圧力を維持することです。ガス供給機は、マスフローコントローラ、ガスマニホールド、リモートバルブまたは統合バルブなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。ガスマニホールドは、マスフローコントローラからガスをチャンバーに集約してルーティングし、バルブを使用してチャンバー内のガス圧力を調整します。最後に、熱化されたフィラメントツールは、堆積プロセスの速度、安定性、均一性を向上させるのに役立ちます。熱化されたフィラメントはより速く、より均一な沈着率を作成するのを助けるフィラメントの熱勾配を減らすように設計されています。APPLIED MATERIALS Producer SEは、酸化ケイ素、ポリシリコン、および関連材料を半導体ウェーハに堆積させるために設計された強力な原子炉です。これは、熱化されたソース、ガス供給資産、電極のモデル、真空チャンバーで構成されています。熱化されたフィラメント装置は、チャンバー内の均一な熱勾配とガス圧力を維持するのに役立ちますが、電極は均一な蒸着プロセスに必要なDCバイアス電圧を提供します。これらのすべての機能を組み合わせることで、このリアクタは半導体ウェーハの製造のための効率的で汎用性の高いツールになります。