中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9239732 を販売中
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ID: 9239732
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
CVD System, 12"
Process: ACL
Sub process: HT ACL
SMIF / FOUP
(2) Twin chambers
Chemical: C3H6, NF3
AC Rack
EFEM
Rear monitor
Monitor rack
FFU Panel
Signal cable box
Load module:
(2) Load ports TDK E4
BROOKS MAC8 Loader arm
ALCATEL A100L Dry pump
Transfer module (Platform):
Transfer arm (Robot) BROOKS MAG8
ALCATEL A100L Dry pump
Process module:
(2) Chambers
(2) ALCATEL ADS 1202H Pumps
(2) NPP NPR-S10L RF Generators
(2) Gas boxes
(3) IBM X306 PC
Utility:
Distribution panel
ETC
Gases: CH36, NF3, N2, AR, HE
Operating system: Windows
2007 vintage.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE（基板電極）は、基板表面に導電性材料を適用するように設計された半導体製造ツールです。基板に固体材料を堆積させる液体の電気分解能力である電気化学蒸着を利用して、均一で正確な導電性材料の一貫した、信頼性が高く、再現性の高い蒸着を実現します。AMAT Producer SEには、蒸着プロセスに一貫した環境を提供するクリーンルームグレードのチャンバーがあります。対象電極（陽極）は、電解液を充填した含有面積の基板ホルダー（陰極）の真上に位置し、溶液中を高電流で駆動して希望材料の電気化学蒸着を可能にします。APPLIED MATERIALTS Producer SEは、バッチ操作により液体電解質を汚染および蒸発から保護します。また、自動運転や組立ラインとの統合にも適しています。均一な均一性のために、チャンバーは、ターゲット基板上の材料の均一な分布を促進するために、攪拌機能と攪拌パドルを利用しています。各プロセスのサイクル時間は非常に信頼性が高いため、沈殿サイクル中に変数を計算または調整する必要はありません。応用材料の特性も非常に再現可能であり、アプリケーターの鋭い幾何学的制御により、薄くてしっかりとした形状の特徴を作成することができます。ツールはまた、ミクロンの解像度と精度を持っています。APPLIED MATERIALS/Producer SEは、高速サイクル時間と温度制御能力から、処理能力を向上させるための追加の不活性ガスの使用まで、多くの機能を備えた堅牢なハイエンド電気化学蒸着（ECD）システムを提供します。また、銅、金、アルミニウム、各種金属酸化物など幅広い材料で高品質、再現性、再現性を実現する効果的な方法です。さらにプロセスの複雑性を高めるために、エッチバック、エッチストップ、平面化、エッジビードのデポ化をサポートする機能により、プロセスの再現性を高めます。このシステムは、AMAT/APPLIED MATERIALSカスタマーサービスパートナーであるEnviro-Techによって保守およびサービスされています。Enviro-Techは、AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEシステムの高度な診断ルーチンのメンテナンスと修理の組み合わせを利用しています。これらのサービスは、ツールの最高のパフォーマンスと一貫したプロセスのパフォーマンスを維持するのに役立ちます。さらに、Enviro-Techのエンジニアは、システムの使用とAMAT Producer SEによる新しい堆積レシピの開発に関するトレーニングを提供します。
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