中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9235103 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE
ID: 9235103
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2011
CVD System, 12" 2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、メモリ、パワーマネージメント、およびその他の先進的な半導体デバイスの製造用に特別に設計された強力なシングルウェーハ、高温エピタキシー炉です。高温エピタキシー材料蒸着率の生産に比類のない生産性を提供します。AMAT Producer SEは、高速ウェハ冷却と高速サーマルランピングにより、最大16kWの高い熱負荷を提供します。プロセス温度、圧力、ガスの流れを正確に制御するために設計されており、最大の再現性と低プロセス誘発欠陥を実現しています。ソフトウェア制御のサポートペデスタルは、サセプターとウェーハエッジの間のスタンドオフ距離を一定に保ち、毎回再現可能な結果を得るのに役立ちます。APPLIED MATERIALS Producer SEは、スループットを最大化し、一貫したウェーハの均一性を提供するために、単一の密接結合されたベルジャー設計により、大きなハードウェア信頼性と稼働時間を備えています。単一の環状高電流イオン源により、誘電体とシリコンフィルムの一貫したドーピングが可能です。このシステムには高度なデュアル放射センサーが装備されており、チャンバー全体のプロセスと安全規制を保証します。Producer SEには、排気から揮発性有機化合物(VOC)を除去するための統合スクラバーが含まれています。内蔵のスクラバーは、シンプルで安全で信頼性の高い操作のために設計されています。それは大気汚染を減らすだけでなく、部屋に入る不純物を防ぐのに役立ちます。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、非常に信頼性が高く強力なシングルウェーハ、高温エピタキシー炉です。高温材料蒸着率の生産に優れた生産性を提供し、プロセス温度、圧力、ガスの流れを正確に制御し、最大の再現性と低プロセス誘発欠陥を実現します。統合されたスクラバーは安全で信頼性の高い動作を保証し、デュアル放射センサーはチャンバー全体のプロセスと安全規制を可能にします。メモリの構築、パワーマネージメント、その他の先進的な半導体デバイスにかかわらず、AMAT Producer SEは比類のない機能を提供します。
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