中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9229583 を販売中
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ID: 9229583
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
CVD System, 12"
UV Cure & SiN
FI: 5.3
FI Robot: KAWASAKI
Chamber A: Nano cure (UV Cure)
Chamber B: BD (Black diamond)
Chamber C: Blok (Barrier low-k)
Gas: IGS Type
Chamber A:
Gas / Model / Flow
Ar / UFC-8565 / 30slm
He / UFC-8565 / 30slm
Chamber B:
Gas / Model / Flow
O2 / UFC-8565 / 2slm
O2 / UFC-8565 / 500sccm
He / UFC-8565 / 5slm
TMS / UFC-8565 / 750cc
He / UFC-8565 / 5SLM
He / UFC-8565 / 12slm
NF3 / UFC-8565 / 3slm
Ar / UFC-8565 / 3slm
He / UFC-8565 / 5slm
He / UFC-8565 / 10slm
Chamber C:
Gas / Model / Flow
O2 / UFC-8565 / 3slm
O2 / UFC-8565 / 500sccm
He / UFC-8565 / 5slm
O2 / UFC-8565 / 10slm
He / UFC-8565 / 12slm
NF3 / UFC-8565 / 3slm
Ar / UFC-8565 / 3slm
He / UFC-8565 / 5slm
He / UFC-8565 / 5slm
UV Power supply rack: ASTEX Generator
Missing parts:
Vacuum EV
PC
Flex controller unit
Chamber B & C:
Heater power filter
Chamber IO Controller unit
Lid assy
MF Motion controller CPU board
LFC:
(2) mDEOS
(2) ATRT
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、今日市場で入手可能な最高品質の原子炉の中で、最先端の製品です。このシングルウェーハ自動化プラットフォームは、半導体デバイスの製造に効率的で費用対効果の高いソリューションを提供します。優れたプロセス制御と高い再現性により、シリコン、ゲルマニウム、ヒ素、ヒ素ガリウムなど、さまざまな材料を作成することができます。AMAT Producer SEの設計は、チャンバー全体で優れた温度制御と均一性を提供します。APPLIED MATERIALS Producer SEは、独自の空熱システムで構築され、正確で一貫した温度をさらに保証します。これにより、印象的な精度と再現性のある結果が得られ、ウェーハ基板の取り扱いに対する感度が低下します。また、複数の層を同時に生成し、リードタイムを支援し、品質を向上させることができます。さらに、ライン組み込みPCと直感的なソフトウェアのトップは、Producer SEのシステムの中核にあります。そのソフトウェアは、ユーザーフレンドリーなコマンドと追加操作へのアクセスを提供します。このソフトウェアは、エンジニアリングチームがプロセスを簡単かつ効率的に作成および繰り返し、プロセスを最適化して歩留まりを向上させるのに役立つように設計されています。これにより、SEの10,000以上のレシピを最適化するための統合レシピ管理も提供されます。安全性に関しては、AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEには、過温度および圧力保護、ホウケイ酸塩ビューポートなど、さまざまな安全機能が装備されています。ホウケイ酸塩の窓はプロセスの完全な眺めを可能にし、調理法の実時間監視を可能にします。AMAT Producer SEには、一貫性のある運用を確保するための毎日のメンテナンスプログラムもあります。APPLIED MATERIALS Producer SEは、広く受け入れられ、使いやすい優れた原子炉です。堅牢な設計、安全機能、およびユーザーフレンドリーなソフトウェアの強力な組み合わせにより、高品質の材料生産に信頼性の高い選択肢となります。また、高スループット、効率的な生産、高度なプロセス最適化をサポートすることで、コスト削減を実現します。
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