中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9215469 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、顧客がより薄いフルウェーハと均一なフィルム蒸着を実現できるように設計された半導体炉です。この原子炉は、超集積回路と高度なメモリデバイスの製造に最適です。この原子炉は、信頼性と再現性の高いウェーハを確保するために、高レベルのプロセス制御を利用しています。プロセス部屋は耐久性および容易な再構成のためのステンレス鋼はさみ金と造られます。このチャンバーは産業用グレードの真空システムと絶縁窓も内蔵しています。この絶縁材は、より良いプロセス制御につながるエネルギー損失を低減するのに役立ちます。このチャンバーは、ウェーハのロード/アンロードを改善し、基板のプリアライメントを向上させます。プロセスチャンバーにはディアクティベータが装備されており、異なるウェーハ間の最適な洗浄を保証します。このツールは、回転ディアクティベーションシステムと静的ディアクティベーションユニットを備えた高度なデュアルゾーン制御装置を備えています。この機械は最高の収穫および性能を達成するために調整することができる優秀なプロセスレシピを可能にします。この原子炉には、ウエハー間プロセスによる汚染のリスクを低減するために、隔離されたゾーンが装備されています。高度な制御アーキテクチャを備えた高度なin-situプラズマジェネレータを備えています。このin-situプラズマ機能は、ウェーハクリーニングに関連する変数の量を減らすことによってプロセス収率を向上させます。熱壁設計により、低熱勾配で高温を実現しています。小型基板の高精度温度制御を実現し、大型基板の優れた熱均一性を実現します。熱い壁はまたエネルギー使用のよりよい効率を可能にします。AMAT Producer SEリアクタで使用される真空ツールは、正確な真空条件下でウェーハが処理されることを保証します。真空アセットは、ターボポンプ、ロータリーベーンポンプ、メカニカルブースターポンプの組み合わせを使用しています。この組み合わせにより、高レベルのプロセス安定性と再現性が保証されます。リアクターには、リアルタイム診断とデータアクセスを提供する高度なリモート監視モデルが装備されています。また、操作を簡素化し、機器のパフォーマンスを維持するための詳細なプロセスログも提供します。リモートモニタリング装置により、トラブルシューティングとプロセスの最適化が改善されます。