中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9215461 を販売中
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販売された
ID: 9215461
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
CVD System, 12"
FI Robot: KAWASAKI (Vacuum EV missing)
Chamber A: Nano cure (UV Cure)
Chamber B: BD (BlackNN diamond)
Chamber C: Blok (Barrier low-k)
Gas: IGS Type
UV Power supply rack: ASTEX Generator
Chamber A:
Gas / Model / Flow
Ar / UFC-8565 / 30slm
He / UFC-8565 / 30slm
Chamber B:
Gas / Model / Flow
O2 / UFC-8565 / 2slm
O2 / UFC-8565 / 500sccm
He / UFC-8565 / 5slm
TMS / UFC-8565 / 750cc
He / UFC-8565 / 5SLM
He / UFC-8565 / 12slm
NF3 / UFC-8565 / 3slm
Ar / UFC-8565 / 3slm
He / UFC-8565 / 5slm
He / UFC-8565 / 10slm
Chamber C:
Gas / Model / Flow
O2 / UFC-8565 / 3slm
O2 / UFC-8565 / 500sccm
He / UFC-8565 / 5slm
O2 / UFC-8565 / 10slm
He / UFC-8565 /12slm
NF3 / UFC-8565 / 3slm
Ar / UFC-8565 / 3slm
He / UFC-8565 / 5slm
He / UFC-8565 / 5slm
Missing gas for chamber B & C:
mDEOS
ATRP
Missing parts:
PC
Flex
Controller unit
MF Motion controller CPU board
LFC (mDEOSx2, ATRTx2)
Chamber B&C:
Heater power filter
Chamber IO controller unit
Lid assy
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、ハイスループット生産とコスト削減のために設計された次世代原子層成膜システムです。ユニークなモジュラーアーキテクチャ、高吸収性プロセスチャンバー、およびウェーハの均一性を高める制御アルゴリズムを備えています。これにより、品質を損なうことなく、スループットを高速化し、コストを削減できます。AMAT Producer SEのモジュラーアーキテクチャは、ウェーハの厚さの均一性を高めるための費用対効果の高いソリューションです。それはあらゆる生産量の条件の必要性を満たすためにカスタマイズされることの柔軟性を提供します。独自のマルチゾーン設計により、並列リアクタ制御が可能になり、プロセスパラメータの柔軟性が向上してスループットが向上します。さらに、複雑な原子炉電力プロファイルを3次元の均一性を強化するために構成することができます。アプライドマテリアルプロデューサーSEの高吸収性プロセスチャンバーは、ウェーハの均一性テスト中の歪みを最小限に抑えるのに役立ちます。ウエハー全体に窒化物や酸化物などを均一に堆積させることができます。システムはまた、簡単なプログラミングと制御のためのオンボードコンピュータコントローラを備えています。これにより、信頼性と再現性が向上し、動作パラメータ間の迅速な切り替えが可能になります。Producer SEには、ウェーハの厚さの均一性を確保するための高度な制御アルゴリズムも付属しています。これには、蒸着材料特性を細かく制御できるマルチゾーン共焦点反射システムが含まれます。また、応力管理やサイドウォールプロファイル制御など、成膜後の処理にも使用できます。これは、ウェーハ全体の均一性を確保するのに役立ちます。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、ハイスループット生産とコスト削減に最適です。モジュラーアーキテクチャ、高吸収性プロセスチャンバー、および信頼性の高い制御アルゴリズムにより、高品質のフィルムを製造するための費用対効果が高く信頼性の高い選択肢となります。これは、大量生産の実行のための理想的な選択肢であり、総所有コストを削減するのに役立ちます。
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