中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9204012 を販売中
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ID: 9204012
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2002
Twin chamber, 12"
Process: HT SiN
Major part:
RPS: MKS FI80131(Astron ex)
Ceramic heater: AIN
Gas panel: 1-1/8 C-Seal surface mount
AC Box: 0195-02428
Heater lift driver: 1080-00126
Pin lift driver: 0190-13840
Throttle valve: 683B-24562
ISO Valve: SMC XZ-218
Manometer: 10T / 100T
HF RF Generator:
0920-00085
0920-00107
Process kits:
Top liner
Middle liner
Bottom liner
Pumping Ring
Spacer
Lift hoop
EQ Liner
Liner
Nitch
Gas panel configuration:
Gas Size MFC Filter Valve
Stick 3 N20 15,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 4 N20 1,000 IFC-125 PALL Hamlet
Stick 5 N2 Purge NA NA Hamlet
Stick 6 SiH4 1,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 7 NH3 700 IFC-125 PALL Hamlet
Stick 8 HE 15,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 9 N2 25,000 UFC-8565C PALL Hamlet
Stick 10 NH3 5,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 11 N2 5,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 12 N2 Purge NA NA Hamlet
Stick 13 NF3 5,000 UFC-8565C PALL Hamlet
Stick 14 AR 10,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 15 N2 5,000 UFC-8565C PALL Hamlet
Junction box missing
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、シリコンウェーハ生産のための先進的な原子炉プラットフォームです。エレクトロニクス業界において最高品質の集積回路を生み出す、業界初の300mm径シングルウェーハ加工システムです。AMAT Producer SEは、業界最高の歩留まり率で半導体ウェーハを処理します。APPLIED MATERIALS Producer SEの最先端テクノロジーは、ウェーハ全体の処理と歩留まりを向上させるように設計されています。このリアクタには、クラスタツールとプロセスモジュールという最大限の性能と柔軟性を確保するための2つのコンポーネントが含まれています。クラスタツールは、原子炉の主要コンポーネントの1つであり、シングルウェーハ環境での高度なプロセスの生産を担当しています。このツールは、生産の柔軟性、効率性、コスト削減を最大化するために機能します。このクラスタツールには、低温プロセスモジュール、複数のプロセスチャンバー、高速絶縁機構、選択的なデリバリーシステムなどの高度な機能が含まれています。また、AMAT独自のプロセスレシピを使用して、最適な製造パフォーマンスを保証します。プロセスモジュールであるProducer SEの2番目のコンポーネントは、シングルウェーハ環境での処理を最適化するように設計されています。APPLIED MATERIALS独自の技術により、原子層成膜、イオンインプラント、イオンミリング、エッチングなど、さまざまな高度なプロセスをサポートします。また、スループット、歩留まり、集積密度を高めるためにも機能します。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、50nmから10ミクロンまでの幅広い半導体ウェーハを取り扱っています。これは、最先端のプロセス技術を処理するように設計されており、最先端の市場向けに複雑な半導体デバイスを製造するための理想的なソリューションです。AMAT Producer SEは、シリコンウェーハ生産のための強力で信頼性の高い原子炉プラットフォームであり、ビジネスで最高の歩留まり率を提供します。
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