中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9204009 を販売中

ID: 9204009
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
Twin chamber, 12" Process: APF Major part: RPS: MKS FI80131(Astron ex) HF RF Generator: 0920-00107(Apex3013) Ceramic heater: AlN Gas panel: 1-1/8 C-Seal surface mount AC box: 0195-01042 Heater lift driver: 1080-00126 Pin lift driver: 0190-13840 Throttle valve: 683B-26033 ISO Valve: 99D0654 Manometer: 20T / 100T Process kit: Top liner Middle liner Bottom liner Pumping ring Lift hoop AL Spacer Gas configuration: Gas Size(sccm) MFC Filter Valve Stick 1 02 15,000 UFC-8565C NAS Hamlet Stick 2 AR 5,000 UFC-8565 NAS Hamlet Stick 3 HE 5,000 UFC-8565C NAS Hamlet Stick 4 C3H6 3,000 IFC-125 NAS Hamlet Stick 5 N2 Purge NA NA Hamlet Stick 7 N2 15,000 UFC-8565C NAS Hamlet Stick 10 02 15,000 UFC-8565C NAS Hamlet Stick 11 N2 Purge NA NA Hamlet Stick 12 NF3 5,000 UFC-8565C NAS Hamlet Stick 13 AR 10,000 UFC-8565C NAS Hamlet Lift ring(Fixed type): Localized Missing parts: Foreline Heater lift driver Aluminum slit insert 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、主に半導体製造およびその他の産業用途に使用するために設計された共有炉の一種です。AMAT、 Inc。によって製造され、包括的なツールコントロール、データ転送、および監視機能を使用して、迅速かつ効率的で正確な操作を可能にするように設計されています。AMAT Producer SEは、反応チャンバー、真空装置、プロセスガス搬送システム、インジェクタ、コンベアベルト、冷却ユニット、排気クリーンアップ装置など、いくつかのコンポーネントで構成されています。反応チャンバーは、原子炉内の環境を封じ込め、分離するために使用されます。それは総資産の不可欠な部分である上流の真空ツールが装備されています。プロセスガス配達モデルは、反応室への必要なプロセスガスの配達を容易にします。インジェクタはプロセスに必要な化学物質を指示して受信しますが、コンベアベルトはチャンバー内で材料を移動するために使用されます。冷却装置はチャンバー内の温度を調節するために使用され、排気クリーンアップシステムは製品がリリースされる前にすべての汚染物質が環境から除去されるようにするのに役立ちます。APPLIED MATERIALS Producer SEは、さまざまなプロセスに使用できる多段炉です。反応パラメータの正確な制御、化学物質の精密な量の注入、プロセス監視など、高レベルのプロセス制御を提供することができます。また、動的に動作条件を変更し、リアルタイムでプロセスを監視する機能を備えた高度な自動化を提供するように設計されています。このユニットはまた、ローカルとリモートの両方で安全にデータを転送することができ、プロセスの管理と制御のための統一されたプラットフォームを提供します。安全機能の面では、Producer SEには、人員とプロセス環境の安全性を確保するための多くの安全関連設定とアラームが含まれています。例えば、ある特定の条件が満たされなければプロセスが作動することを防ぐ作り付けの安全連結機械が装備されています。このツールはまた、すべてのプロセスパラメータの包括的な監視とロギングを提供し、プロセス関連の問題を迅速かつ簡単に診断することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、高度な半導体デバイスの製造に最適なツールです。高度な自動化、プロセス精度、安全性を提供することで、製造プロセスに付加価値をもたらすことができます。
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