中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9204009 を販売中
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ID: 9204009
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
Twin chamber, 12"
Process: APF
Major part:
RPS: MKS FI80131(Astron ex)
HF RF Generator: 0920-00107(Apex3013)
Ceramic heater: AlN
Gas panel: 1-1/8 C-Seal surface mount
AC box: 0195-01042
Heater lift driver: 1080-00126
Pin lift driver: 0190-13840
Throttle valve: 683B-26033
ISO Valve: 99D0654
Manometer: 20T / 100T
Process kit:
Top liner
Middle liner
Bottom liner
Pumping ring
Lift hoop
AL Spacer
Gas configuration:
Gas Size(sccm) MFC Filter Valve
Stick 1 02 15,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 2 AR 5,000 UFC-8565 NAS Hamlet
Stick 3 HE 5,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 4 C3H6 3,000 IFC-125 NAS Hamlet
Stick 5 N2 Purge NA NA Hamlet
Stick 7 N2 15,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 10 02 15,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 11 N2 Purge NA NA Hamlet
Stick 12 NF3 5,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 13 AR 10,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Lift ring(Fixed type): Localized
Missing parts:
Foreline
Heater lift driver
Aluminum slit insert
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、主に半導体製造およびその他の産業用途に使用するために設計された共有炉の一種です。AMAT、 Inc。によって製造され、包括的なツールコントロール、データ転送、および監視機能を使用して、迅速かつ効率的で正確な操作を可能にするように設計されています。AMAT Producer SEは、反応チャンバー、真空装置、プロセスガス搬送システム、インジェクタ、コンベアベルト、冷却ユニット、排気クリーンアップ装置など、いくつかのコンポーネントで構成されています。反応チャンバーは、原子炉内の環境を封じ込め、分離するために使用されます。それは総資産の不可欠な部分である上流の真空ツールが装備されています。プロセスガス配達モデルは、反応室への必要なプロセスガスの配達を容易にします。インジェクタはプロセスに必要な化学物質を指示して受信しますが、コンベアベルトはチャンバー内で材料を移動するために使用されます。冷却装置はチャンバー内の温度を調節するために使用され、排気クリーンアップシステムは製品がリリースされる前にすべての汚染物質が環境から除去されるようにするのに役立ちます。APPLIED MATERIALS Producer SEは、さまざまなプロセスに使用できる多段炉です。反応パラメータの正確な制御、化学物質の精密な量の注入、プロセス監視など、高レベルのプロセス制御を提供することができます。また、動的に動作条件を変更し、リアルタイムでプロセスを監視する機能を備えた高度な自動化を提供するように設計されています。このユニットはまた、ローカルとリモートの両方で安全にデータを転送することができ、プロセスの管理と制御のための統一されたプラットフォームを提供します。安全機能の面では、Producer SEには、人員とプロセス環境の安全性を確保するための多くの安全関連設定とアラームが含まれています。例えば、ある特定の条件が満たされなければプロセスが作動することを防ぐ作り付けの安全連結機械が装備されています。このツールはまた、すべてのプロセスパラメータの包括的な監視とロギングを提供し、プロセス関連の問題を迅速かつ簡単に診断することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、高度な半導体デバイスの製造に最適なツールです。高度な自動化、プロセス精度、安全性を提供することで、製造プロセスに付加価値をもたらすことができます。
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