中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9203837 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、さまざまな半導体ウェーハ製造アプリケーション向けに設計された最先端のプラズマベースの蒸着またはエッチング炉です。この原子炉の効率的な設計は、高度なプロセスオートメーション、制御、および監視システムを統合して、高精度の結果を得ることができます。パネル張りのステンレス製の真空チャンバーは、基板の広いスペースと幅広い検出器とモニター構成を備えた高スループット処理を可能にします。AMAT Producer SEの精密加工機能は、優れたプロセスの均一性、エッジ制御、および清潔性を可能にします。APPLIED MATERIALS Producer SEは、ユニークで効率的な非ベル・サイクロン・ガス配送装置を使用しており、スループットの向上とプロセス制御の改善に必要な、より豊富なin-situガス組成と高いプラズマ密度を実現しています。この原子炉は、エッチング、クリーニング、蒸着など、シングルウェーハおよびクラスタツールの包括的な用途に適しています。負荷ロックシステムは、常にガスの損失を最小限に抑え、暖房および冷却構造の多くの構成に対応しながら、最大200mmのサイズの基板に対応できます。Producer SEは、高度なプロセス監視および制御機能も提供します。Advanced Process Control （APC）モジュールを備えており、プロセス変数のリアルタイムでクローズドループのフィードバック制御を提供します。そのソフトウェアには、単一のウェーハまたはクラスタツールアプリケーションのルールベースの制御も含まれています。さらに、柔軟なレシピ開発と実行サポート、自動アラームシステム、統計的に有意義なデータへのアクセスを提供します。最後に、原子炉の高度な安全機能により、マルチユーザーアプリケーション用の信頼性の高い安全なツールとなります。特許取得済みの安全パネルはX線防止ガラスを使用しており、原子炉の圧力の完全性を損なうことなく主要部品へのアクセスを提供します。さらに、統合された高度なセキュリティユニットにより、システム管理者はいつでもレシピと機械整合性の設定をパスワードで保護できます。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、精度、プロセス制御、および安全機能を通じて、革新的な半導体ウェーハ製造プロセスの標準を設定しました。業界に効率的で信頼性の高い安全なプラズマベースの蒸着およびエッチングソリューションを提供します。