中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9203790 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE
ID: 9203790
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
CVD System, 12" 2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE(別名AMAT Producer SEリアクター)は、様々なハイテク産業で使用される薄膜や材料の堆積のための先進的な生産設備技術です。APPLIED MATERIALS Producer SEリアクタシステムは、新製品の汎用性と迅速な導入のために開発されたモジュール設計による連続真空ベースの化学蒸着(CVD)プロセスです。シングルエンド(SE)水平分割プロセスチャンバーを備え、環境に優しいプラットフォームで超薄型(1nmまで)の高品質フィルムを作成できます。SEチャンバーには、4つのプレインストールされたガス供給システム(GDS)、上部チャンバーに2つ、下部チャンバーに2つが装備されており、高度な商用アプリケーション向けにカスタマイズおよび構成することができるさまざまなガス入力混合物の精密、再現性、および最適化されたプロセス制御を可能にします。Producer SEリアクタは、2つの異なるプロセスモードを提供し、究極の柔軟性を提供します。連続モードでは、処理時間と温度を短時間のランプアップとランプダウン時間で素早く柔軟に調整することができ、ユーザーの研究開発活動においてユニークな機能を提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE炉は高純度マルチゾーン温度を利用します。上部プロセスチャンバーは、300〜800°Cの温度で動作し、化学物質やガスの流れを正確に制御します。下部チャンバーの温度範囲は200〜300°Cで、圧力は1〜10 torrの間で調整可能です。これらの温度と圧力は、デバイス全体に均一なフィルム品質と成膜を提供します。AMAT Producer SEリアクタには、高度な制御および監視システム(CMC)が装備されており、処理条件をリアルタイムでウェハレベルおよびチャンバーレベルで表示できます。高度なアルゴリズムを備えたこのセンサ駆動型モニタリングシステムは、潜在的なプロセスの問題を予測し、予測診断と治療を提供することができます。また、CMCは、あらかじめプログラムされたレシピを対象とするプロセスパラメータを満たすことができます。使いやすいユーザーインターフェイスのおかげで、APPLIED MATERIALS Producer SEリアクタの実行は手動または自動で行うことができ、オペレータに安全性と利便性を提供します。オプションのオートメーションソフトウェアにより、ウェーハの自動ロードとアンロード、およびプロセスの最適化とサイクルタイムの短縮が可能です。生産者SEリアクターは、高度な生産設備とAMAT生産スイートの不可欠なコンポーネントです。これは、効率的で信頼性の高いツールであり、企業がパフォーマンスを向上させた製品を開発し、製品が顧客の期待に応えるのを助けることができます。
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