中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9198863 を販売中
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ID: 9198863
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
CVD System, 12"
Process: BPSG
2 Channels
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、大面積の基板への薄膜蒸着用に設計された高品質のPECVD（プラズマ強化化学蒸着）原子炉です。この原子炉は200°Cまでの温度で動作し、高い蒸着速度のRF（無線周波数）電源サポートを備えています。AMAT Producer SEは、集積回路、オプトエレクトロニクス、MEMS（マイクロエレクトロメカニカルシステム）などの複雑な半導体デバイスを大量に生産するためのコスト効率が高く信頼性の高いプラットフォームです。APPLIED MATERIALS Producer SEは、プロセスチャンバーへの複数のガス流出を可能にする独自のガスボックス設計を採用しています。これにより、プロセス化学が高精度であることが保証され、均一な薄膜蒸着と高収率の結果が得られます。デュアルゾーンPECVDプロセスチャンバーは、上下と同時/シーケンシャルの両方の成膜機能など、さまざまな基板加工構成を可能にするように設計されています。この汎用性により、酸化物、窒化物、金属、ポリシリコンなどのさまざまな薄膜材料を堆積させることができます。Producer SEは、正確なプロセス制御を容易にするための正確な温度プロファイル・データを提供する、包括的な診断と非接触温度測定セットを備えています。これは、すべてのプロセスパラメータを1つの使いやすいツールに統合する高度なプロセス制御システムを利用しています。これにより、プログラムを変更する必要なく、動的なパラメータ調整とプロセス条件の最適化が可能になります。さらに、内蔵のDiagnosticsは、プロセスの状態と効率に関するリアルタイムのフィードバックを提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、長期運用における信頼性と再現性を考慮して設計されています。モジュラー設計によりメンテナンスとアップグレードが容易になり、生産性とプロセス制御を向上させるアップグレードが可能になります。また、エネルギー効率が高く、低圧でのCO2排出量削減のための運転設計により、半導体デバイスの生産においてより持続可能な選択肢となっています。全体として、AMAT Producer SEはPECVD成膜用の信頼性の高い汎用性の高いツールです。これは、デュアルチャンバー設計と正確な化学制御のための複数のガスの流れを備えており、さまざまな薄膜材料の正確な堆積を可能にします。また、精密な温度プロファイルとプロセス制御のための包括的な診断とプロセス制御システムを備えています。エネルギー効率と持続可能性、および長期的な使用における信頼性のために設計されています。
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