中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9195324 を販売中

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ID: 9195324
CVD System, 12" 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、精密な薄膜蒸着用途向けに設計された原子炉です。市場で最も先進的な原子炉の一つであり、ディスプレイ、半導体、およびその他のデバイスを作成するための基板を形成するために使用されます。この原子炉は、革新的なプロセス技術と信頼性の高い性能、タイトなプロセス制御、優れた再現性を兼ね備えています。原子炉内では、ベル瓶と拡散ポンプ装置が優れた真空性能と圧力性能を提供し、正確なタイミングで材料の正確な量が供給されることを保証します。AMAT Producer SEには、高速かつ安定したプロセス条件を提供するデュアルゾーンinertingが装備されており、より高品質のレイヤー、より速いサイクルタイム、より低いフィルム汚染を可能にします。内蔵のガスボックス設計により、プロセスチャンバーの効率的なシーリングと迅速な反応時間を可能にします。ロードロックは、ロードロックチャンバーと反応チャンバの間で大気にさらされることなく効率的にウェーハを転送するロードロックを備えており、200mmウェーハを収容することができます。さらに、APPLIED MATERIALS Producer SEはマルチモード機能を可能にし、反応性ガスと非反応性ガスの両方の処理を可能にします。Producer SEの制御システムは、簡単な仕立てレシピ、マルチレベルセキュリティユニット、ユーザー固有のタスク固有のウィザードなど、さまざまなユーザーフレンドリーな機能を提供します。さらに、原子炉には、プロセスを監視および分析し、個々のレシピを作成し、パフォーマンスを最適化するための幅広いソフトウェアツールが含まれています。すべてのAMATクリーンプロセスに基づいた標準的な機能のセットを含む各マシンでは、リアクターは手動および完全自動化された操作の両方に適しています。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEリアクターは、10リットルの容積容量を備えた洗練された真空チャンバーに囲まれており、環境干渉からの優れたシールドを提供します。グリッドフリーパルススパッタリング、均一かつ反復可能な蒸着、基板上の均一な層の厚さのためのソリッドステート電源を備えています。マルチエレメントウェーハステージは、動作数を最小限に抑え、パフォーマンスを向上させ、加熱と冷却の両方の機能の使用を最適化します。APPLIED MATERIALS MaxBrightの均一性と蒸着制御ツールとの互換性を考慮して設計されており、開始から終了までの完全なプロセス制御を提供します。全体として、AMAT Producer SEは薄膜蒸着用途向けの信頼性の高い高性能リアクタです。強力なプロセス能力とユーザーフレンドリーな制御機能を備えた原子炉は、単純な成膜から非常に複雑な成膜手順まで、さまざまな成膜ニーズに適しています。
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