中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9153559 を販売中
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ID: 9153559
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
CVD System, 12"
(2) Chambers
Chamber A and B:
Chamber process: XJ (PE Si-lane twin)
APEX 3000 RF Generator
Gas delivery:
Gas pallet type: Surface mount vertical
No regulated gas panel
No regulated TMS
Top gas feed
Gas panel cabinet exhaust: Top
No facilities interlock indicator
SETRA Transducers
Nippon filter
Manual and pneumatic valves: Hamlet
No liquid source
Gases:
Chamber A:
Gas position / Gas / MFC Size
Gas 1 / C3H6 / 3000 SCCM
Gas 2 / H2 / 15000 SCCM
Gas 8 / O2 / 30000 SCCM
Gas 9 / AR / 15000 SCCM
Gas 10 / HE / 5000 SCCM
Gas 13 / N2 / 15000 SCCM
No regulator
No transducer
Chamber B:
Gas position / Gas / MFC Size
Gas 1 / C3H6 / 3000 SCCM
Gas 2 / H2 / 1000 SCCM
Gas 8 / O2 / 30000 SCCM
Gas 9 / AR / 15000 SCCM
Gas 10 / HE / 5000 SCCM
Gas 13 / N2 / 15000 SCCM
No regulator
No transducer
Mainframe:
No local center finder
No Cu wafer sensor
Third MF IO motion card
Robot blade: Standard VHP
Factory interface, 12":
Options: 5.3
WIP Delivery type: OHT
Wafer pass thru and storage: DSM Specific cooling tray
KAWASAKI Track robot with edge grip
No docked E99 reading capability
Load port types: Enhanced 25 wafer FOUP
Load port operator interface: Standard 9 light
No configurable color lights
No docking flange shield
Front facing intake plenum air system
E84 Pl/O Sensors and cables: Upper E84 sensors and cables
OHT Light curtain
Carrier ID host interface
(3) Colors configurable light towers
Heat exchanger:
No AMAT / APPLIED MATERIALS HX Hose and manifolds
Remote AC:
Facilities UPS interface
Chamber configuration:
Channel A / Channel B:
BFC
Foreline, 2"
T/V Type: 683B
0090-05813 RF Filter
RPS
FFU Controller
Power supply: 200-208 VAC, 60 Hz
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、先進的な半導体装置のグローバルサプライヤーであるAMATによって設計および製造された単一のウェーハ惑星反応器です。この原子炉は、高度な機能と使いやすいソフトウェアを組み合わせて、高性能、低消費電力、および信頼性の高いアプリケーション向けの高度な半導体材料の生産において、均一で正確で信頼性の高い結果を生み出します。シングルウェーハAdvanced Materials AMAT Producer SEは、プロセスエンジニアや科学者に最適で、幅広い薄膜プロセスや基板に高収量、高品質の結果を提供することができます。リアクターは、プロセスの均一性、信頼性、およびウエハ形状の一貫性を備えた、正確で再現性のあるウェハ生産を提供します。この原子炉には、超高真空（UHV）および近真空（NV）プロセス用に密閉されたプロセスチャンバーが装備されています。この装置は、シングルウェーハ基板とマルチウェーハ基板の両方でプロセスを達成し、複数のガスを同時に処理するように設計されています。また、原子炉には低放射性蒸着表示窓が設置されており、材料を堆積する際の直接的な視界が得られます。また、冷蔵庫システムも設置されています。APPLIED MATERIALS Producer SEは、APPLIED MATERIALSが開発した使いやすいソフトウェアでサポートされています。このスイートは、トレーニング、メンテナンス、監視、およびサービスのための直感的なインターフェイスを提供します。さらに、プロデューサーのソフトウェアプラットフォームは、個々のユニットと堆積ニーズに対応するカスタマイズを可能にします。Producer SEは、生産を最大化し、生産性を向上させるために設計された多くの機能を提供します。ウエハセンタリング自動車及びロボティクスシステムを搭載し、基板の配置を維持し、歩留まり損失を最小限に抑えます。さらに、高度なデジタル処理制御機は、最適なプロセス速度と位置精度を維持し、ウェーハの状態を継続的にフィードバックします。シングルウェーハAdvanced Materials AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、迅速かつ簡単なプロセス実行と制御を可能にし、可能な限り最高の歩留まりと品質を保証するように設計されています。半導体メーカーにとって、生産を最適化し、最良の結果を達成しようとする信頼性と費用対効果の高い選択肢です。
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