中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9150542 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、高純度半導体材料のエピタキシー用に設計されたシングルウェーハ、バッチ負荷炉です。これは、優れた均一性と最小限の汚染を有する成膜温度の広い範囲を必要とする薄膜源やデバイスの生産に適しています。SEパッケージは、高効率のウェーハ加熱素子と高度なガス供給システムを使用して、高品質の蒸着を実現し、費用対効果の高いプロセスを実現します。AMAT Producer SEのイノベーションには、ウェーハ全体に均一な加熱を提供する加熱ウェーハチャックが含まれており、プロセス制御を改善するための均一性とスロットルダウン機能が向上しています。バッチと連続モードの両方でoeprateする機能は、生産プロセスに柔軟性を高めます。高度なマルチゾーン加熱およびガス流量分布システムにより、クローズドプロセス環境内での一貫した生産が保証されます。APPLIED MATERIALS Producer SEはまた、優れた材料スループットと生産性を利用しています。インテリジェントなウェハレベルのプロセス監視システムと組み合わされたハイスループット配信コンポーネントは、迅速なサイクル時間と優れた均一性によって特徴付けられる汚染のないプロセスを保証します。原子炉は、材料やアプリケーションの広い範囲のために設計されています。最大3つの標準基板ボートサイズの選択が可能で、さまざまなガス配送システムにより、多くの堆積レシピが可能です。さらに、原子炉はセルフクリーニングであり、蒸着中のウェーハ温度を正確に監視するように設計された高分解能のピロメーターが付属しています。Producer SEは、さまざまな高性能半導体製品に最適な生産ソリューションです。効率的な設計と汎用性の高い運転により、高品質の蒸着プロセスを必要とする半導体生産者に優れた価値提案を提供します。