中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9120403 を販売中
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ID: 9120403
ウェーハサイズ: 12"
PECVD Silane system, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、さまざまな製造プロセスで使用するために設計された原子炉です。様々な素材に対応できる大型高温真空チャンバーです。この原子炉は、シリコン、ヒ素ガリウム、窒化ガリウム、リン化ガリウムなどの幅広い材料を処理することができます。サンプルローディング、サンプル搬送、成膜/エッチング処理に使用できる3つの独立制御真空チャンバーを備えています。この装置は、さまざまな受動層と誘電層を生成することもできます。原子炉は、処理中にサンプルをサポートするためにグラファイトサセプターを使用しています。また、より良い真空シールのための2つの同心水晶シールリングを持っています。さらに、原子炉にガスをパージまたは導入するために使用されるガス供給ユニットが含まれています。AMAT Producer SEは、直流(DC)高周波スパッタリング法を使用してサンプル表面に堆積します。このプロセスは、Ultra-Shallow Junctions (USJ)およびその他の優れた機能の製造に非常に効果的です。また、スパッタリングプロセスにより、高い蒸着速度、高い均一性、高いプロセス安定性を実現します。また、このツールは温度制御アセットを使用して設計されており、サンプルの温度がプロセス全体で一貫していることを確認します。モデルの温度較差は30から500°Cにあります。この装置には、原子炉環境で一貫した圧力を維持するために使用される圧力制御システムも含まれています。APPLIED MATERIALS Producer SEは、酸化、窒化、シリシデーション、拡散、エッチングなど、さまざまな材料と蒸着プロセスをサポートしています。原子炉には、正確で一貫した結果を得るためのプロセス監視および制御システムも装備されています。このユニットには、オンラインデータ収集およびデータ処理機が含まれています。このツールは、処理中のプロセスパラメータとサンプル条件を監視できます。全体として、Producer SEは多目的で信頼性の高い蒸着/エッチング炉であり、さまざまな製造プロセスに適しています。それに高い沈殿率、高い均等性、高いプロセス安定性および優秀な温度調整があります。また、一貫した結果を保証するための高度な監視および制御資産も備えています。
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