中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9088242 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、様々な材料を半導体ウェーハにエピタキシャル蒸着するためのツールです。これは、250°Cから500°Cまでの低温で動作するように設計された垂直タイプの原子炉です。原子炉は、蒸着室と熱帯の2つの主要な部分で構成されています。堆積チャンバーは、堆積プロセスが行われる場所です。このチャンバーでは、加熱された不活性ガスがウェーハ上の特定のパターンで循環し、均一な蒸着を保証します。加熱されたガスは、堆積物とウェーハ表面の間の良好な接着を促進するのに役立ちます。チャンバー内にはクォーツランプもあり、材料の接着性をさらに向上させるための追加のエネルギーブーストを提供することができます。熱ゾーンは、材料が加熱される原子炉のコンポーネントです。それは速い温度の傾斜のための低い熱質量がある単段ガスによって熱される熱い壁のるつぼが装備されています。熱い壁のるつぼは材料を制御された方法で加熱することを可能にし精密な沈着率および均等性を保障します。サーマルゾーンには、蒸着プロセスの正確な制御を容易にする温度コントローラも装備されています。AMAT Producer SEリアクターには、炉インターロック装置、過熱保護装置、緊急遮断システムなど、数多くの安全機能が装備されています。また、原子炉には革新的な冷却装置があり、所望のレベルで温度を維持するのに役立ちます。最後に、原子炉には高品質の真空機械が装備されており、高真空レベルとクリーンな動作環境を保証します。全体として、APPLIED MATERIALS Producer SEはエピタキシャル蒸着プロセスのための信頼性が高く効率的なツールです。幅広いプロセス能力を提供し、さまざまな材料を半導体ウェーハに堆積させるために使用できます。直感的な安全機能と高品質の真空ツールを搭載し、低温動作により蒸着プロセスを正確に制御します。