中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9088227 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、高度なプロセス材料蒸着のための高均一性と非常に高いスループットの正確な組み合わせを提供するために設計された、高スループット高度な原子炉システムです。統合されたデュアルチャンバーアーキテクチャにより、2つの独立したシステムを同時に動作させることができ、ユーザーが同じウエハタイプ/サイズを処理したい場合に、プロセスの柔軟性と優れた生産性を実現するエンジニアリングソリューションを提供します。AMAT Producer SEは、革新的なガス注入デリバリーシステムを備えた大型のユニフォームチャンバーを備えており、非常に均一で再現性の高いプラズマプロセスを提供します。大容量チャンバー設計により、蒸着相、液相、化学蒸着、原子層蒸着プロセスなど、多くのプロセスオプションで正確な材料蒸着均一性を実現します。独立したプロセスモジュールであるAdvancedSourceとHiCapは、LFSE （Low-Current Flash Thermal Spark Exciter）によるMPCVDプロセスの最適化とフィルム品質の向上を可能にします。低電流フラッシュ熱スパークエキサイタは、チャンバ内の無線周波数（RF）電力を制御することにより、プロセス制御と精度をさらに向上させ、非常に厳しい精度で所望のレベルで維持されるようにします。LFSEはまた、プロセスチャンバーの鋭いエッジによって引き起こされるアークを除去する制御回路を提供します。その他の機能としては、強力なセグメントチャック、独立したマニピュレータ、および分離チャンバーがあり、ユーザーはチャンバーガスを混合せずにマルチステッププロセスを実行したり、1つのプロセスから次のプロセスに残基を交差させたりすることができます。APPLIED MATERIALS Producer SEには直感的なソフトウェアインターフェイスが搭載されており、ユーザーは各プロセスをカスタマイズ、制御、監視することができます。ユーザーはプロセスパラメータプロファイルを制御、監視、保存することができ、異なるロット間で一貫したプロセスパフォーマンスを保証します。このソフトウェアには強力なファイル管理システムも含まれており、ユーザーは繰り返し可能なアプリケーション結果のプロファイルを保存して簡単に呼び出すことができます。Producer SEは、高いスループット、基板との互換性、ウェーハエリア全体の優れた均一性を備えた優れた所有コストを備えています。また、原子炉は優れた再現性を備えており、連続運転でも一貫した結果が得られます。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、さまざまなプロセス技術を実行する柔軟性を備えた、材料蒸着の究極の柔軟性を提供します。