中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9017194 を販売中
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ID: 9017194
ヴィンテージ: 2001
SACVD BPSG system, 8"
System overview:
Technology: DCVD
Wafer shape: SNNF
Position A: (XY) BPSG TWIN
Position B: (XY) BPSG TWIN
Position C: (XY) BPSG TWIN
System software: 3.4_8
NT version: P 133
Factory interface system 5.4 FI, options:
Number of load ports: 2
Metrology unit: Nanometrics
Light tower: 4-color configurable light tower
Remote options, system monitors:
First local monitor: standalone 15"
Second local monitor: TTW with keyboard, 15"
Remote options, heat exchanger:
System heat exchanger: Steelhead
AMAT HX hoses and manifolds: AMAT stainless hose upgrade: yes
Pumps:
Transfer chamber: BOC Edwards IPX-100L
Chamber A roughing pump: BOC Edwards iH-1000
Chamber B roughing pump: BOC Edwards iH-1000
Chamber C roughing pump: BOC Edwards iH-1000
System power mainframe: 208 V, 3 phase, 4 wire, 300 A
EMO interface: 24 VAC
Ch A-B-C, (XY) BPSG TWIN:
Robot blades: aluminum, (2) 0040-43516
Heater: HA-12 tight RF mesh with non RF cap, (2) 0190-03516
Foreline TV: 2.5" heated throttle valve, 0010-38429
Foreline ISO: valve, ISO 200 mm SACVD PROD-REP.16 holes, 0010-01653
RPS: Astron EX RPS, 0920-00057
Ch A, (XY) BPSG TWIN, gas box options:
Gas pallet type: BPSG only
Line 1: O3
Line 2: O2- 20SLM
Line 3: N2 Purge
Line 4: NF3- 3SLM
Line 5: Empty
Line 6: Ar- 5SLM
Line 7: He- 20SLM
Line 8: He- 20SLM
Line 9: He- 20SLM
Line 10: Liquid N2 purge
Line 11: Empty
Line 12: Empty
Line 13: Empty
Line 14: Liquid Pos 1, Teb- .5 g/min
Line 15: Liquid Pos 2, TEOS- 4.0 g/min
Line 16: Liquid Pos 3, Tepo- .25 g/min
Ch A-B-C, (XY) BPSG TWIN, process abatement: TCS
Ch A-B-C, (XY) BPSG TWIN, process kit:
Gas box: gas box - bypass, (2) 0040-53927
Blocker UHD: blocker, 200 mm producer, (2) 0021-09914
Faceplate BPSG: faceplate, 200 mm producer, (2) 0021-03568
Top pumping liner: pumping liner top producer, (2) 0020-00402
Liner, ceramic middle: liner, ceramic middle, producer, (2) 0020-00316
Liner, ceramic bottom: liner, ceramic bottom, producer, (2) 0020-00317
Liner, ring insert: liner, ring insert, producer, (2) 0021-06569
Lift pin-TC: lift pin 170 fixed floating 200 mm producer, (8) 0200-03314
Lift ring: lift ring 120 fixed floating 200 mm producer, (2) 0200-02576
Hoop: hoop 140 fixed floating 200 mm producer, (2) 0200-02577
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、先端材料や新規デバイスの生産のために設計された高度な原子炉です。この原子炉は、最も厳しい要件を満たすように設計されており、先端材料や新規デバイスの生産に可能な限り最高の歩留まりを提供します。AMAT Producer SEは、カスタマイズ可能な半導体技術、材料科学、および加工の専門知識のユニークな組み合わせを組み合わせて、高度な材料とデバイスに最高の歩留まりを提供します。これは、お客様のボリュームや複雑さに関係なく、プロセスの忠実性を確保するために、最高レベルの自動化と拡張性を目的としています。この原子炉の柔軟なアーキテクチャは、リアクタントの流れを正確に制御することができ、多種多様なリアクタントを処理することができます。この原子炉はまた、洗練された制御システムを備えており、反復可能で予測可能な反応と結果を保証します。制御システムは、反応パラメータを微調整プロセスと結果に調整して歩留まりを最適化することができます。原子炉の先進的な設計は、加熱、冷却、および圧力制御システムを備えた、包括的なプロセスチャンバーのスイートで構成されています。これにより、反応温度、反応時間、圧力プロファイルを正確に制御できます。また、高速ガスの供給も可能です。この原子炉の材料プロセス・システムには、SEM/EDS、 TEM、 FTIR、 GCMS、 XRDなどの一連の材料分析システムも含まれています。これらのシステムは、処理前および後処理の材料セクションの迅速な特性評価を可能にします。これは、材料を素早くサンプリングして分析し、プロセスを正確に最適化できることを意味します。APPLIED MATERIALS Producer SEは、先進的な材料およびデバイスのメーカーのニーズに応えるように設計されており、大量、高収量の生産と生産性の向上を可能にします。これは、実験室の技術と実験を生産ラインに変換するための理想的なソリューションです。
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