中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #293825727 を販売中

ID: 293825727
CVD System Process: Teos.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、超高真空薄膜およびスパッタリングプロセスで使用するための汎用性の高いツールです。誘電体および導電性材料の最先端の精密エッチングまたは成膜用に設計されています。AMAT Producer SEは、大小のウエハサイズと複数のプロセスに対応する完全な機器柔軟性です。APPLIED MATERIALS Producer SEの中心には、磁気的に強化されたクロスフィールド/RF/DCスパッタリングソースがあります。この独自の技術は、強力な電子源、高圧電源、特別に設計された磁気を組み合わせて、優れた均一性と蒸着速度を実現します。クロスフィールド/RF/DCソースの電力と効率が向上するため、基板加熱を必要とせずに、あらゆるウエハサイズに高品質の薄膜を堆積できます。このシステムは、手動から完全に自動化されたバッチ処理まで、さまざまな制御機能を備えており、精度と再現性を高めています。Producer SEには、ウェーハ温度、RF電力、および蒸着速度をリアルタイムでショットモニタリングするタッチスクリーンタッチパッドコントローラを備えた高度なメインフレームが含まれています。強化されたプロセス追跡により、最大の稼働時間と均一性が保証され、今日の複雑な処理環境で非常に有益です。強力なクロスフィールド/RF/DC電源に加えて、AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、可変速度ターボ分子ポンプ源を備えた汎用性の高い超高真空パッケージを備えており、高いポンプと圧力安定性を提供します。低温サンプル表面温度、圧力、およびロードロックセンサーを含む最先端のプロセスセンサーにより、プロセス制御と低汚染を正確に行うことができます。AMAT Producer SEはまた、1つのメインフレームから最大16個のツールを制御できる、分散システム向けの包括的な自動化を提供しています。この高度なアーキテクチャにより、スムーズなインストールと統合が可能になり、ユニットエンジニアリングの俊敏性が向上します。アプライドマテリアルズプロデューサーSEは、ユニークなインテリジェントなピックアンドプレイスロボットを備えたEnhanced Helix Bar Codeリーダーを搭載しています。Producer SEは、最も困難で正確な薄膜およびスパッタリングプロセスのために設計された高度なツールです。このマシンの強力なクロスフィールド/RF/DCスパッタリング技術は、プロセスの均一性と速度を最適化し、自動化されたツールスイートは生産性と精度をさらに向上させます。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、高性能な機能の組み合わせにより、高精度ウェーハ処理のための包括的なソリューションを提供します。
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