中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #293625379 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE
ID: 293625379
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
CVD System, 12" Process: PETEOS 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、薄膜の大量蒸着のために設計された高度な化学蒸着(CVD)装置です。その革新的なデザインは、高分解能フルエリアサセプターによって特徴付けられ、広い領域にコンフォーマルフィルムを堆積させることができ、簡単な再焦点が可能です。AMAT Producer SEは堅牢なステンレススチールエンクロージャから構成されており、簡単な操作とメンテナンスが可能です。このシステムには、高度なプラズマ制御戦略とセンサーが装備されており、基板領域全体にわたって信頼性の高い均一な堆積パラメータを提供します。APPLIED MATERIALS Producer SEは、半導体、オプトエレクトロニクス、MEMS市場向けに、高度な材料の高いスループットと均一な成膜を提供します。このユニットは、大型のサセプターと全面ガスインジェクションを備えた、大面積の蒸着用途向けに設計されています。この構成により、高スループットのプロセス時間で均一な厚さ、構成、およびパフォーマンスの均一性を実現します。Producer SEの真空プロセスチャンバーは、非接触の単点ラジアルシールを備えた堅牢なステンレス鋼で構成され、高度なプラズマ制御オプションを備えています。このチャンバーは、漏れ検出や化学純度監視など、化学蒸着の安定した環境を提供します。プロセス部屋の絶縁材は機械の外で温度の安定性および信頼性を保障します。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、プロセスレシピのパフォーマンスを監視し、プロセスオプションの最適化を可能にする統合診断ツールを採用しています。また、MEMSグレードのデバイス転送メカニズムを提供し、基板をメインプロセスチャンバーに移動および整列させ、プロセス領域から抽出します。AMAT Producer SEはAMAT SpectraBriteソフトウェアを搭載しており、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを提供し、効率的な運用とメンテナンスを実現しています。このソフトウェアは、ガス流量、差圧、温度プロファイルなどのすべてのプロセスパラメータを簡単に制御できます。このソフトウェアはまた、高度なプロセスレシピの最適化を提供し、処理パラメータの迅速な最適化とフィルムの均一性の向上を可能にします。APPLIED MATERIALS Producer SEは、薄膜の製造に特化した先進的なCVDアセットです。高い蒸着速度、高分解能フルエリアサセプター、高度な制御戦略とセンサー、信頼性と均一な蒸着を組み合わせており、大面積の蒸着アプリケーションに最適です。使いやすく、内蔵された診断機能と統合されたSpectraBriteソフトウェアにより、あらゆる半導体製造プロセスにおいて重要なコンポーネントとなります。
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