中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #293614935 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、高性能半導体製造用に設計された半導体製造装置です。高度な自動化技術と精密工具を搭載し、幅広いウエハの迅速かつ高精度な生産を可能にします。このシステムは、9台のロボット生産ラインに配置されたデュアルチャンバー、シングルウェーハ処理モジュールで構成されています。2つのチャンバーは独立して動作し、同時に高速でプロセスを実行します。各チャンバーには、ウェハハンドリングプロセスを実行するモジュラーエンドエフェクタ（MEE）ロボットが装備されています。MEEロボットを使用すると、並列プロセスのロードロックを実行でき、処理スループットと効率が向上します。2つのチャンバーには、エッチング用と加工用の2つのプラズマ源があります。ソースは、強化された機能を可能にする複数の周波数のプラズマを生成するように構成されています。エッチングチャンバーにはマルチノードプラズマ源とRFジェネレータ、処理チャンバには1つのプラズマ源と直流/無線周波数（DC/RF）ジェネレータが含まれています。選択性の高いプラズマエッチングと高速ウェーハ加工が可能です。サンプルプロセッサ、フィルムコーティングユニット、温度コントローラも装備しています。サンプルプロセッサは、加工前後のウェーハ分析に使用され、フィルムコーティングユニットは薄膜を基板に堆積させるために使用されます。温度コントローラは、処理チャンバ内の大気条件を監視および調整するために使用され、安定した生産プロセスを保証します。最後に、このツールには、検査およびテスト作業の多くを自動化する複数のマシンビジョンコンポーネントも含まれています。これにより、多種多様なウェーハの高品質な生産を保証します。全体として、AMAT Producer SEは、幅広い半導体製品を迅速かつ正確に製造するために設計されています。高度なオートメーションシステムと高精度なツールを組み合わせ、迅速かつ効率的なウェーハ処理を可能にします。サンプルプロセッサ、フィルムコーティング、マシンビジョンコンポーネントを組み込むことで、さまざまな種類のウェーハを高品質に生産することができます。