中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #293614934 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE （Split Electron Beam）は、ウェハレベル処理用に設計された低真空プロセスリアクターです。それはフィルムの質の顕著な制御、堅牢なプロセス機能および信頼できる部屋の保護を提供します。化学蒸着（CVD）やエッチング、化学機械平坦化（CMP）などの汎用用途に適しています。AMAT Producer SEは、複雑な前駆体や希ガス焼きなましプロセスの高い断片化反応も可能です。APPLIED MATERIALS Producer SEの原子炉室は、ステンレス鋼で構成された円筒形の設計です。チャンバーの直径は136 cmで、深さは20 cmです。一度に最大20個のウェーハを保持することができ、さまざまなサイズと厚さのウェーハに対応できます。Producer SEは、プロセス制御を強化するための高度な電子ビーム源を備えています。電子ビーム源は、処理タスクの再現性のための高い精度と精度を提供することを約束します。このビームは、ウェーハ上に水平に焦点を当てたエネルギッシュな電子を生成します。その後、このビームはウェーハ封じ込めチャンバーにぶつかり、堆積したフィルムの均一性を高めて変調されます。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは低真空モードで動作するため、処理時間の短縮が可能です。この原子炉は電子ビーム源に電子増強化学蒸着（E-CVD）を使用しており、効率と均一性を向上させるために最適化された電力供給を提供します。AMAT Producer SEのE-CVD機能は、集積回路で使用するために、アルミニウムのような金属を堆積するために使用することができます。また、液晶ディスプレイやPDPディスプレイに搭載されている薄膜トランジスタ（TFT）の製造に使用されるレアガスアニーリングプロセスも可能です。これらのプロセスはすべて高温を必要とし、統合制御システムを使用して自動化することができます。APPLIED MATERIALS Producer SEには、複数のオートメーションツールを使用してジョブを設定し、プロセスを制御し、結果を監視する高度な技術が搭載されています。Producer SEは薄膜の加工に理想的なツールであり、幅広い業界で多くの用途があります。このシステムが提供する高度なプロセスと高精度は、信頼性の高い薄膜加工を必要とするチップメーカー、ディスプレイメーカー、その他の業界にとって理想的なツールです。