中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #293591459 を販売中
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販売された
ID: 293591459
ヴィンテージ: 2005
PECVD System, 12"
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Chamber A and B:
Type: APF
Gas name / MFC Size
C3H6 / 3000 SCCM
NF3 / 1000 SCCM
O2 / 15000 SCCM
AR / 10000 SCCM
HE / 5000 SCCM
O2 / 10000 SCCM
Ar / 10000 SCCM
N2 / 15000 SCCM
He / 1000 SCCM
RF (High frequency): 13.56 MHz, 3 kW (maximum)
Remote plasma: 400 kHz, 10 kW (maximum)
2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは最先端の半導体製造炉で、業界をリードする統合、稼働時間、およびスループットを提供し、先進的なチップ製造を実現します。AMAT Producer SEは、最高の半導体製造能力を提供し、最大直径8インチのウェーハの完全なウェーハ処理を提供します。この原子炉はDE HDD (Diamond Edge Rapid Deposition)およびIDEALD対応であり、より高い蒸着速度と改善されたシース安定性のためのオプションのアップグレードが可能です。この設計には、9ゾーンのマルチバスケットローダーやハイスループットクラスタ成膜オーブンなど、スループットを最大化するための多数の高度な機能が搭載されています。システム全体は、手動操作を排除し、ダウンタイムを削減しながら、チップ製造の精度と効率を確保するように設計されています。APPLIED MATERIALS Producer SEリアクターは、サーマルイメージング技術と高度なプロセスを使用して、ユニークなウェハアプリケーションに比類のないレベルの仕立てを提供します。このシステムは、ウェハカウントとスタック構成に基づいて、高速かつ正確な負荷マッチアップを提供します。高度なプロセス制御システムは、高度な材料の精密な適用を確保するために、温度、圧力、およびガス反応条件を管理します。堅牢なプロセス制御システムは、堆積プロセスの均一性を提供し、複数のバスケット構成にわたって均一性を提供します。革新的なデュアル観察技術により、ユーザーはプロセスとその結果の両方を正確に監視できます。高度の流体動的制御は厚さ、構成および表面の質の制御の均一な物質的な配達を、保障します。リアクターは、リアルタイムでウェーハを分析し、材料やプロセスの偏差を検出するための高度なスキャンおよびイメージング技術で設計されています。さらに、Producer SEは高度な表面検査技術を適用し、均一な表面仕上げを保証します。汎用性の高いAMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、ユーザーのニーズに合わせて構成可能で、既存の生産システムとシームレスに統合できます。また、異なるソースの材料と互換性があり、高度な信号処理アルゴリズムにより、素材の違いをすばやく特定できます。AMAT Producer SEには、最先端のグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を含む、クラス最高のコンポーネントの包括的なセットが付属しています。GUIを使用すると、接続と制御からジョブのスケジューリングと管理までの操作を管理できます。全体として、APPLIED MATERIALS Producer SEリアクターは、高度なチップ製造のためのプロセス制御、精度、速度の前例のないレベルを提供します。この洗練された半導体製造ユニットは、効率的な処理、最大スループット、および完全な精度を提供します。パワフルで世界クラスの統合技術により、アプリケーションに関係なく、すべてのウェーハ処理が一貫して正確であることを保証します。
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