中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE+ #293591355 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE+は、様々な特殊反応材料の合成および成膜プロセス用に設計された高性能な成膜装置です。SE+システムはシングルウェーハバッチリアクターであり、高真空環境でマルチソース、マルチエレメンタル蒸着を提供します。薄膜、ハードマスク、その他の薄膜、半導体材料の製造に使用され、厚さは1nm〜10 μ mです。SE+は完全に自動化されており、多数のプロセスオプションと制御機能を提供しています。SE+は、酸化剤、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）、物理蒸着（PVD）、原子層蒸着（ALD）などの高度な技術を利用しています。また、露出時間や圧力を目的の結果に応じて制御することで、プロセスの厚みも変化します。SE+は、高いスループットレートで優れた均一性を持つさまざまなフィルムを作成することもできます。SE+は、高品質のフィルムを提供する高度な温度およびチャンバー圧力制御を備えており、幅広い基板にも対応しています。それは炭化水素、酸素および他の不活性ガスを含んでいる酸化モジュールを含んでいます；また、より高い基板温度と圧力範囲を維持することができます。基板は完全に自動化された密閉されたチャンバーツールに配置され、すべての処理が内部で行われるため、後蒸着クリーンアップ、処理、および中間段階のクリーンアップを追加する必要がありません。このアセットはまた、最適なプロセスの均一性と堆積パラメータの制御のために設計されたチャンバジオメトリを備えています。さらに、チャンバーは高効率のガス順次注入モデル（GSIS）に囲まれており、前駆体の適切な供給を確保し、あらゆるプロセスを再現可能にします。また、SE+は直感的で自動化されたチューニング機能と、成膜パラメータのエキスパート機器最適化を備えており、各成膜実行で再現可能な薄膜結果を得ることができます。このシステムは、複数のプロセスソースと、抵抗加熱、レーザーセンシング、および複数のハードウェアアップグレードオプションなどのさまざまなオプションのプロセステクノロジーで拡張可能です。要約すると、AMAT Producer SE+は反応性物質合成と蒸着プロセスを最適化するように設計された高性能シングルウェーハバッチリアクタユニットです。薄膜、ハードマスク、その他の薄膜、半導体材料を精度、均一性、高スループットで作成することができます。さらに、SE+には、高度な温度およびチャンバ圧力制御、最適なプロセスの均一性とパラメーター制御のために設計されたチャンバージオメトリ、高効率のガスシーケンシャルインジェクションマシン（GSIS）、直感的で自動化されたチューニングとエキスパートツールの最適化も搭載されています。