中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE BD/BLOk Low k Dielectric #9287956 を販売中

AMAT Producer SE BD/BLOk Low k Dielectricは半導体デバイス製造において薄膜層を生成するために設計された原子炉の一種です。この誘電層は、半導体デバイスの静電容量、抵抗、破壊電圧などのデバイス特性を制御するために不可欠です。APPLIED MATERIALS Producer SE BD/BLOk Low k誘電反応器は、原子層成膜（ALD）を介して均一で再現可能な誘電層を生成するように設計されています。ALDには、基板上で互いに反応して薄い均一な層を形成する2つ以上の前駆体（化学種）への基板のシーケンシャル露出が含まれます。原子炉は、石英室に囲まれた加熱基板テーブルで構成され、約6つのシャワーヘッドに囲まれています。シャワーヘッドを使用して、さまざまな気体前駆体をチャンバーに正確に供給し、基板に吸着します。基質のテーブルは25°Cから350°Cに及ぶ温度に加熱することができます。高真空ポンプと圧力計は、処理中にチャンバ内の圧力を監視および維持するために使用されます。基板の均一なカバレッジを確保するために、シャワーヘッドは基板上にプリカーソル分子の一定の分布を提供するように設計されています。ガス分配系は原子炉の重要な要素であり、前駆体の分子の均一な分布が、薄い均一な誘電体膜の界面積を形成することを可能にする。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE BD/BLOk Low k誘電体リアクターは、低誘電率のために低kストレスに対応できる低誘電層を生成するように設計されています。これは、最先端の技術の効率的な設計と使用のおかげで達成されます。AMAT Producer SE BD/BLOk Low k誘電炉は、半導体デバイス製造において薄膜層を製造するための信頼性が高く、費用対効果の高い方法です。その効率的な設計により、静電容量、抵抗、破壊電圧などのデバイス特性が向上し、信頼性の高い半導体デバイスを製造することができます。