中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE APF #293649954 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE APFは、原子層蒸着（ALD）プロセス用に設計された画期的な原子炉です。半導体製造やその他のデバイス製造のための高効率でフル機能のシステムです。AMAT Producer SE APFリアクターは、サブナノメートルの精度と再現性を備えた均一でコンフォーマルな層を生成することができます。リアクターは、プラズマ源を埋め込み、ウェハ上に均一な蒸着を行うシングルウェハ処理システムです。超高密度プラズマ源、自動化された精密制御、真空チャンバーが含まれています。超高密度プラズマ源は、高度な材料蒸着およびエッチング用途に使用されます。それはプロセス制御および優秀な均等性を提供する高い発電密度、高エネルギープラズマを提供します。また、材料の蒸着とエッチングを精密に制御するための高解像度のデジタルプラズマ制御を備えています。統合されたソースにより、これまでにない蒸着精度でオンラインユニフォーム加工領域を実現します。自動化された精密制御には、プロセスパラメータを正確に制御できるインテリジェントコントローラが含まれます。これにより、サンプルやウエハサイズに関係なく、一貫性のある反復可能な結果を得ることができます。APPLIED MATERIALS Producer SE APFリアクターには、高度なユーザーインターフェイスと高度な制御システムが含まれており、堆積プロセスとエッチングプロセスの各ステップでプロセスパラメータを最適化できます。真空チャンバーは、超精密加工金属と高品質の水晶光学窓で構成されています。熱膨張性、耐腐食性、汚染性に優れています。このチャンバーは、蒸着およびエッチングプロセスの完全な自動化を可能にし、汚染を最小限に抑えて高いスループットを実現します。この高性能リアクターは、半導体産業のための超精密な堆積とエッチングを提供します。高解像度のデジタルプラズマ制御により、精度と再現性を備えた先端材料の製造プロセスを可能にします。統合されたソースはウェーハ全体に均一な蒸着を提供し、自動化された精密制御によりプロセスパラメータを最適化できます。これらの機能を備えたProducer SE APFリアクターは、デバイス製造に最適です。
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