中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #9251468 を販売中
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ID: 9251468
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
CVD System, 8"
Shrink type
(2) Twin chambers
Controller: Legacy type
L/L and Xfer pump: EDWARDS IPX
Chiller: Steel head
AC Box
UPS
Chamber A and B:
Process: P-TEOS (PSG)
RF: ADVANCED ENERGY RFG2000-2V
LF: ENI QUANTA-10
RPS: ASTRON 2L (F120620-1)
Chamber A:
Gas panel:
Gas / Max flow / Make / Model
He / 5 slm / UNIT / UFC-8160
PH3 / 1 slm / UNIT / UFC-8160
NF3 / 3 slm / UNIT / UFC-8160
Ar / 5 slm / UNIT / UFC-8160
O2 / 5 slm / UNIT / UFC-8160
N2O / 2 slm / STEC / SEC-4400
SiF4 / 2 slm / STEC / SEC-4400
TEOS / 4 g/min / STEC / LF-410-EVP
TEPO / 0.2 g/min / STEC / LF-310A-EVP
Chamber B:
Gas panel:
Gas / Max flow / Maker / Model
He / 5 slm / UNIT / UFC-8160
PH3 / 1 slm / UNIT / UFC-8160
NF3 / 1 slm / UNIT / UFC-8160
Ar / 5 slm / UNIT / UFC-8160
O2 / 5 slm / UNIT / UFC-8160
TEOS / 4 g/min / ST EC / LF-410A-EVP
TEPO / 0.2 g/min / STEC / LF-310A-EVP
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer Sは、ICデバイスなどの製造用に設計されたスピンオン蒸着（SOD）炉です。集積回路、MEMSデバイス、その他の光電子部品の大量生産に使用できます。AMAT PRODUCERSリアクターは、幅広い温度、圧力、ガスの流れを提供するように特別に設計されており、ユーザーはさまざまな材料に最適化されたプロセス条件を達成することができます。APPLIED MATERIALTS PRODUCER-Sリアクターは、デバイス製造プロセスの開始から終了までの連続運転を可能にする高度なハイスループットクラスタ装置を備え、均一で再現性の高い画像処理結果を提供します。Sリアクターには、二列ガスインジェクタと低流量混合システムが装備されており、薄膜の精密な蒸着のための温度と圧力制御の両方を向上させます。また、優れた薄膜成膜を実現するための温度監視・制御ユニットを内蔵しています。機械は、加熱されたIDチャンバー、選択可能な温度の発熱体、対流プレナム、および望ましい圧力を維持するための真空ポンプで構成されています。Sリアクターは、プロセスパラメータの厳密な制御を維持しながら、高レベルの生産性と歩留まりを確保するように設計されています。精密な均一性と再現性を備えた材料の堆積を必要とする3D構造を含む高度なICデバイス製造に使用できます。コントロールツールはASCODEマッピングアルゴリズムを使用して、すべてのプロセス条件が実行全体にわたって維持されるようにします。この資産には、原子炉の動作を制御するためのソフトウェア対応のフィードバックループも含まれています。AMAT PRODUCER-Sリアクターは、高いスループット、低コストの所有コスト、および優れたプロセス制御を備えたICデバイスおよびその他のコンポーネントを製造するための強力で信頼性の高いツールです。高品質なICを低価格で生産することが可能です。また、研究開発や商用用部品製造にも適しています。
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