中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #9235472 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer Sは、高度な半導体クレンジングおよび蒸着プロセス用に設計された電子ビーム蒸発器ベースの原子炉です。AMAT PRODUCERSは、半導体産業のために製造された高度なエッチングクリーンおよび蒸着炉のAMATラインナップの最新ツールです。この原子炉は、アプライドマテリアルズの精密設計とエンジニアリングの卓越性と組み合わせて、最新のプロセスと材料の革新をもたらします。アプライドマテリアルズPRODUCER-Sは、単一の電子ビーム蒸発器を使用して、優れたエッジプロファイリングと均一なカバレッジを提供します。ウエハエッジに精密な成膜が可能なため、AMAT Producer Sのエッジ精度が向上し、ライン側面の変色が最小限に抑えられます。蒸発チャンバは、ビームの位置とビームフットプリントのサイズを正確に制御するための精密なモーションコントロールを使用しています。これにより、プロセス中にウェーハに均一な成膜を実現できます。プロセスチャンバーは、低排ガス、耐腐食性合金でできており、最新のクリーンルームエンジニアリングを使用して、ウェハとの相互作用のためのクリーンでパーティクルフリーな環境を確保しています。このチャンバーには、熱管理システムとRFシールドケージも含まれており、所望の温度で最適なエッチングクリーンプロセスを可能にします。APPLIED MATERIALS Producer Sには、高精度マルチチャネルマスフローコントローラやガス除去システムなどの高度なプロセス監視システムがあり、ガス異常をすばやく検出してそれに応じて調整することができます。また、エッチングクリーンおよび蒸着プロセスを正確に制御できる複数のレーザーベースの光学チャックと、クリーニングプロセス全体の効率的な制御を支援する高速加熱および冷却ユニットが装備されています。AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCERSが提供する高度なエッチングクリーンおよび蒸着プロセスは、均一なカバレッジとデバイス性能を保証し、高度な半導体加工の要件に最適なソリューションです。