中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #9013303 を販売中
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販売された
ID: 9013303
ウェーハサイズ: 8"
TEOS PECVD system, 8"
System Overview:
Technology DCVD
Platform Type PRODUCER SE
Wafer Size 200MM (8 INCH)
Wafer Shape SNNF
Position A (XY) PE TEOS TWIN
Position B (XY) PE TEOS TWIN
Position C (XY) PE TEOS TWIN
Position A Process (09) TEOS
Position B Process TEOS
Position C Process TEOS
System Software:
System software Latest qualified version V3.4_12
GP Latest qualified version P 133
Factory Interface System 5.4 FI, Options:
Number of Loadports Number of Loadports 2
Metrology Unit Nano Nanometrics
Light Towers 4 COLOR CONFIGURABLE LIGHT TOWER YES
MainFrame Options:
Rear MF Light Tower RAGB No NO
Remote Options, System Monitors:
First Local Monitor STAND ALONE, 15 Inch
Second Local Monitor TTW WITH KEYBOARD, 15 inch
Remote Options, Heat Exchanger:
System Heat Exchanger Qty ONE Steelhead 1
AMAT HX Hoses and Manifolds NO YES
Pumps:
Transfer chamber Customer supply, MUST meet GT SSPS Specifications!
Chamber A Roughing pump Customer supply, MUST meet GT SSPS Specifications!
Chamber B Roughing pump Customer supply, MUST meet GT SSPS Specifications!
Chamber C Roughing pump Customer supply, MUST meet GT SSPS Specifications!
Customer Fab Options:
System Power Mainframe 208V 300A 208V 3 Phase, 4 Wire 300A
Customer EMO Interface 24V AC
ChA-B-C, (XY) PE TEOS TWIN:
(2) Robot Blades Aluminum
RF Generator 1
RF Generator 2
(2) Heater HA-12 TIGHT RF MESH WITH CLAMP TYPE 2
(2) Rf Filter Rev ? RF filter
Foreline TV 2 1/2-inch heated throttle valve
Foreline ISO 2 1/2-inch heated ISO valve
RPS Astron EX RPS
ChA, (XY) PE TEOS TWIN, Gas Box Options:
Gas Pallet Type TEOS ONLY
ChA-B-C, (XY) PE TEOS TWIN, Gas Box Configuration, Gas Section:
Line 1 Empty
Line 2 Empty
Line 3 O2- 5SLM
Line 4 N2 Purge
Line 5 Ar- 5SLM
Line 6 NF3- 3SLM
Line 7 Empty
Line 8 Empty
Line 9 He- 5SLM
Line 10 Liquid Purge
Line 11 Empty
Line 12 Empty
Line 13 Empty
Line 14 Liquid Pos 1 TEOS- 4.0 g/min
ChA, (XY) PE TEOS TWIN, Process Abatement:
Abatement TCS
ChA, (XY) PE TEOS TWIN, Process Kit, TEOS:
(2) Gas Box Gas Box - Bypass 0040-53927
(2) Blocker UHD Blocker,200mm Producer 0021-09914
(2) Faceplate,TEOS Faceplate,200mm Producer 0021-01813
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer Sは、その有効性と性能で有名な先進的な原子炉です。様々な素材を基板に堆積させ、様々な製品を生み出します。通常、PECVD（プラズマ強化化学蒸着）炉として機能し、半導体業界で最も広く使用されているツールの1つです。AMAT PRODUCERSは、成膜チャンバーにプラズマを均等に配分する独自の設計を採用し、高品質で均一なコーティングを実現しています。高度な乱流装置を使用して、最適なプロセスの均一性と再現性を実現します。この設計により、あらゆる生産工程がマイクロコンポーネントおよび集積回路デバイスの生産に最適化されます。このシステムには、効率を最大化し、サイクルを完了するために必要な時間を短縮するさまざまな高度な機能が装備されています。これには、原子炉がより速く、より少ない中断で動作するように、目的のプロセスを自動的に切り替えるデュアルチャンバー設計が含まれます。さらに、自動シャッターユニットは、マシン全体で均一なプロセス条件を維持するのに役立ちます。アプライドマテリアルズPRODUCER-Sは、精度と比類のない精度のために設計されています。最適なプロセス条件の検証と確認に必要なツールをユーザーに提供します。これは、リアルタイムで監視できるさまざまな診断によって実現されます。すべての関連パラメータを生産プロセス全体で監視することができ、プロセスが不安定になっている場合にオペレータが迅速に介入することができます。原子炉も容易に維持できるように設計されている。その高度な機能は、その寿命とパフォーマンスを確保します。これらの革新的な機能に加えて、このツールはオペレータに安心を提供するためのいくつかの安全機能も提供しています。すべての安全ガイドラインに従うと、ユーザーは資産の堅牢な設計を利用でき、問題なく複数のプロセスを実行できるようになります。PRODUCER-Sは非常に高度で信頼性の高い原子炉で、比類のない汎用性と性能を提供します。効率的な設計と高度な機能により、APPLIED MATERIALS Producer Sは、絶対的な精度で高品質の製品を生産するために探している人に最適です。
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