中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #177862 を販売中
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タップしてズーム
販売された
ID: 177862
System, SABPSG
Front End: Manual FE
Buffer pump: IPX100
Wafer sensor: WPS
Chamber position: A, B, C
Chambers A, B, C:
Lift assembly Installed
Pressure gauge Installed
RFG AE RFG-2000
RPS MKS FI20620
P-kit Installed
Ozone rack: Yes
Gas panel
SLD: Yes
MFC UNIT 8161/8160
Transducer MKS w/o display
Line L3 Empty
Line L2 Empty
Line L1 Empty
Line 1 O3
Line 2 O2 20 slm
Line 3 N2
Line 4 NF3 10 slm
Line 5 N2 5 slm
Line 6 Ar 20 slm
Line 7 Empty
Line 8 He 20 slm
Line 9 N2 20 slm
Line 10 N2 purge
Line R1 Empty
Line R2 Empty
Line R3 Empty
PLIS:
TEOS Yes
TEPO x (line ready)
TEB x (line ready)
Liquid line Yes
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer Sは、化学蒸着(CVD)および原子層蒸着(ALD)薄膜プロセスに使用されるハイスループットモジュラーシングルウェハツールです。このツールはコンパクトなデザインで、より小さな製造スペースに簡単に収まることができます。また、広い温度範囲を持ち、あらゆる生産ニーズに適応することができます。AMAT PRODUCERSは、高レベルの安全性と汚染低減対策で設計されています。クローズドループ制御装置を内蔵し、生産レベル、プロセスパラメータ、温度を自動的に調整してオーバーランを防ぎ、生産を一貫して維持します。自動化された制御システムは、生産中のオペレータのエラーの可能性も低減します。応用材料PRODUCER-Sは、2チャンバプロセスチャンバー構成で動作します。1つ目のプロセスチャンバーは異なるタイプの材料を処理するように設計されていますが、2つ目のプロセスチャンバーは薄膜成膜前に基板を洗浄するために使用されます。両方のチャンバーを同時に加熱することができ、より速い生産を可能にします。AMAT Producer Sには高度なオートメーションユニットが装備されており、生産プロセスのあらゆる側面を正確に制御できます。このツールは、手動モードと自動モードの両方で操作できます。また、CVD/ALDソース材料インジェクタの基板ホルダーとノズルの動きを制御できる最先端のモーションコントロールマシンを装備しています。AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER-Sは、コスト削減と製造の改善に役立つさまざまな機能を提供します。基板のローディングとアンロードのためのロボットアームと、スケジューリングと最適化のためのソフトウェアツールを備えています。ロボットアームは、ヒューマンエラーによるエラーの可能性を低減するのに役立ち、ソフトウェア資産はダウンタイムを削減するのに役立ちます。PRODUCER-Sは、薄膜コーティングを製造するための信頼性の高い効率的なツールです。高度なオートメーションモデルと安全対策により、薄膜蒸着ニーズに費用対効果の高いソリューションを提供します。
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