中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III #9223653 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III
ID: 9223653
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2002
PECVD Deposition system, 8" Multi chamber 2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer IIIは、半導体および関連する先端材料用途向けに設計された先進的なエッチングおよび蒸着炉です。この装置は、高効率で信頼性の高いセラミックチューブるつぼの周りに設計されており、正確な温度と圧力制御、エッチングと蒸着ガスを完全に補完しています。統合されたエッチソースは、優れたプロセスの均一性と精度、およびエッチング速度とエッチング選択性の正確な制御を提供します。この蒸着源は信頼性が高く、幅広いプロセスの柔軟性と制御を提供します。AMAT Producer IIIは、シリコン、炭素、窒化物フィルムなどの材料に、熱、CVD、蒸発プロセスなどのあらゆる材料蒸着機能を提供します。高度な蒸着プロセスは欠陥密度が非常に低く、高い再現性を提供します。さらに、高度なプロセス制御を使用して、ディッシュと欠陥を最小限に抑えた非常に均一なレイヤーを作成できます。エッチング機能に関しては、湿式プロセスとプラズマプロセスの両方に対応でき、高い精度と選択性を使用して極めて精度の高い材料をエッチングします。統合された制御ユニットは、エッチング速度と選択性にリアルタイムのフィードバックを提供し、最適なプロセス結果を保証します。さらに、このマシンは、さまざまな材料用にプログラミング済みのエッチプロトコルを幅広く提供し、特定のプロセス用のカスタムプロトコルを作成することができます。APPLIED MATERIALS Producer IIIリアクターには、ロボットアームの統合ツールであるProducer Modular Service Stationが同梱されており、あらかじめ定義されたカスタマイズ可能なプロセスシーケンス用に設定されたステップワイズのオートメーション機能を備えています。このアセットにより、サンプルローディング、サンプリング、ウェーハアライメント、処理など、幅広いプロセス作業を迅速かつ効率的に完了できます。結論として、Producer IIIは、さまざまな半導体および関連する先端材料用途向けに設計された高効率で信頼性の高い原子炉です。このモデルは、成膜およびエッチング機能の包括的な範囲、プロセスを自動化するための統合ロボットアーム、および複数のバッチ間の高い再現性を確保するための正確なプロセス制御を提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER IIIは、高度な材料加工における信頼性と性能に優れた実績を有しており、精密で再現可能なエッチングと成膜結果を必要とするあらゆる用途に最適です。
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