中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III #9092388 を販売中
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販売された
ID: 9092388
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2001
BPSG System, 8"
Wafer shape: SNNF
Mainframe: Producer Split
SMIF: manual
Ozone generator: Astex
System controller UPS option: no
(2) Chambers: BPSG
Heater: ceramic
Clean method: remote plasma
Manometer: Dual 20/100 Torr
Chamber wall: 11.484 o-ring
Gas Delivery
MFC type: Unit 8160
Valves: Fujikin 5 Ra Max
Filters: Pall
Transducer: MKS w/o display
Regulators: Parker
O2 20L UNIT
NF3 3L UNIT
Ar 5L UNIT
He 10L UNIT
N2 20L UNIT
TEOS STEC
TEPO STEC
TEB STEC
Electrical requirements: 200/208V, 50/60Hz, 240A
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer IIIは、高性能、高スループット、マルチプロセスリアクターで、幅広いフィルムおよびデバイス用途を提供します。これは、高度な特許取得済みの3ゾーン設計を備えており、正確なプロセス設定と製造の優れた均一性を可能にします。この原子炉は自動化された2軸ポジショナーを備えており、目的の全領域にわたってプロセス制御と均一性の向上を容易にします。さらに、自己調整サポートシャフトと調整可能な傾斜角度は、加工にさらなる柔軟性を提供します。個々のガスおよびプロセス制御バルブは、精密な調整と独立した動作を提供しますが、統合された機器の温度管理はさらにプロセスの安定性を高めます。さらに、最先端の制御システムは、ツールの汎用性と使いやすさの操作を提供します。この先進原子炉はまた、製造中に反応チャンバの最大の安定性と精度を保証する新しい電極固定ロックアライメントユニットを備えています。さらに、クローズドループ制御および温度管理装置により、原子炉は所望の温度に迅速かつ正確に到達することができます。統合された診断およびメンテナンスツールは、リアルタイム機能を提供し、ダウンタイムを最小限に抑えて最大限のプロセス効率を保証します。クリーンチャンバーの設計により、汚染のない生産プロセスが保証され、半導体、薄膜、光電子、化学機械、真空加工のさまざまな用途に適しています。また、高い均一性と高いスループット機能の恩恵を受ける複数のアプリケーションをサポートしています。金属蒸着、エッチング、酸化、シリコン窒化、シリコン酸化窒化、BPSG蒸着、SiO2蒸着およびパッシベーション、蒸発薄膜処理、窒化物蒸着、熱酸化、分子ビームエピタキシー(MBE)などがある。要約すると、AMAT Producer IIIは信頼性が高く汎用性の高い原子炉であり、さまざまな薄膜、光電子、およびプロセス用途に正確かつ高スループットの製造を提供することができます。高度な3ゾーン設計、2軸ポジショナー、調整可能な傾斜角度、統合された温度管理、およびクローズドループ制御アセットを備えているため、製造の専門家に最適です。
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