中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III #9036838 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer IIIは、半導体ウェーハのハイスループット生産用に設計された洗練された8ステーションクラスタツールです。このタイプの原子炉は、集積回路やその他のハイテク機器の製造に広く使用されています。AMAT Producer IIIは、900°Cまでの処理温度をサポートできます。省スペース設計により、既存の生産ラインや新規設備への統合が可能です。プロセスレシピはユーザーが調整可能で、時間や温度などのパラメータは直感的な制御ソフトウェアで簡単に変更できます。APPLIED MATERIALS Producer IIIのチャンバーは軽量のアルミニウムで構成され、メンテナンス性の低いゴム製ブレードで密閉されています。チャンバー内部には高温セラミック絶縁材が並んでいるため、熱損失を低減し、外部からの電気干渉を最小限に抑えます。Producer IIIは、プラズマの生産と操作のための高度なコンピュータ制御システムを備えています。最大出力300Wの高効率RF発電機を搭載しています。これにより、サイズ、形状、電力要件に関係なく、ウェーハ全体で均一なエッチング結果が保証されます。また、原子炉には大きな表示ウィンドウがあり、生産中のプロセス結果を視覚的に検査することができます。さらに、様々なセンサーは、動作中に主要なプロセスパラメータを検出して監視します。これにより、高収量の標本とプロセス全体の安定性を確保することができます。高い信頼性と一貫したプロセス性能を補完するために、AMATは診断ツールとオンラインテクニカルサポートも提供しています。これにより、AMAT/APPLIED MATERIALS Producer IIIのパフォーマンスを最大化するためのあらゆる問題を特定し、迅速に修正できます。これは、その信頼性、拡張性、安全な操作のための同様のクラスタツールの中でも際立っています。これらの機能により、あらゆる半導体製造設備に理想的な選択肢となります。