中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III #9019704 を販売中
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販売された
ID: 9019704
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2002
Dual SACVD chamber, 12"
P/N; 0242-14523
Process: BPSG
Iso Valve 0060-21442 rev b / 0060-76188 rev b
Throttle Valve 0010-14682
Foreline straight 0050-50173
Foreline elbow 0040-40886
Gas Manifold 0021-30143
LFM/Injector Manifold 3030-08008
Astron 0920-00057
Heater Transformer 211-0111-120 5 KVA
Heater Transformer 211-0101-120 5KVA
Heater Lift 0010-01418
Heater Driver 0090-00569
Pneumatic Switch Bank
Heater Ceramic 0040-04048
Heater Ceramic 0040-04048
Heater Filter 0090-01267,001
Specifications:
LFMs and injectors: STEC
TEOS, TEB, TEPO liquid delivery injection valves / lines
HFG: 0920-00107 AE 3000 RFG, AE PN: 3156114-003
LFG: ENI quanta-10D-01M1
Heat Controller: Johnson Electric Powerformer – Outdoor type 3R U/L
Gas box configuration:
Line 1: O3
Line 2: O2
Line 3: N2
Line 4: NF3
Line 5: N2
Line 6: Ar
Line 7: Empty
Line 8: N2
Line 9: He
Line 10: N2
Includes AMAT part numbers:
0040-03005
0040-61823
0040-51824
0040-03439
0040-01618
0021-06499
0040-04048
Missing parts:
Gas box enclosure
Gas box rails
Chamber support rails
Low frequency generator
High frequency generators
MFA / filter
Watlow heater contoller
Vapor line - heat trace
Foreline heater controller
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer IIIは、極端な温度と圧力で動作する汎用性の高い原子炉であり、ますます高度な研究に最適です。原子炉は柔軟な石英シーリングを使用し、一貫した信頼性の高い動作を保証します。統合された真空システムにより、高い真空性を維持しながら、超高真空から高真空まで迅速に調整することができます。Advanced Materials AMAT Producer IIIは、さまざまな革新的な実験を可能にするために設計された印象的な機能の範囲を誇っています。この原子炉は、-90°Cから1150°Cまでの精密な温度を生成することができ、複雑な反応環境の作成を可能にする独自のガス混合システムを利用しています。さらに、内蔵のマスフローコントローラにより、正確で再現性のある流量を実現します。APPLIED MATERIALS Producer IIIは、合成、エッチング、結晶化、感作、照射、沈着など、さまざまな実験に対応できます。反応チャンバーのサイズが最大40リットルを超えると、反応器は急速な低温浄化、急速な合成を達成し、拡散ポンプを追加すると、真空を増加させることができます。Producer IIIはまた、マルチステップ実験を可能にする他のツールと統合しています。複数のガスコントロールシステムのスプリッタに外部ガスラインを接続でき、複数のサンプルランにサンプルホルダーを追加できます。この原子炉は、精密な温度制御とフィードバックのための光学ピロメータを追加することによってさらに強化されています。生産者の堅牢な設計には、統合された安全システムとサーマルリミッターが含まれ、通常および極端な条件下での信頼性の高い動作を保証します。そして、マルチポイント温度コントローラやリムーバブルウィンドウなどの追加機能を備えた原子炉は、研究者にとって最大限の汎用性を提供します。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS Producer IIIは信頼性の高い低温作業環境を提供できる先進的な原子炉であり、科学者は幅広いプロセスを自由に探索できます。その幅広い機能と特定の実験に合わせて調整する能力は、現代の研究者にとって非常に貴重なツールです。
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