中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT3 #293610776 を販売中
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販売された
ID: 293610776
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2015
PECVD System, 12"
Process: TEOS
(4) SELOP Load ports
FOUP: (25) Wafers
FX Robot
0200-08346 Robot blades
0090-04659 Load lock preheater
9992-00594 Slit valve door
EBARA ESR 80WN MF Pump
Laod lock pump: EPX 180 Twin dry vacuum pump (P/N: 3620-00517)
0190-37371 Diffuser
KASHIYAMA SDE1203B Process pump
Chamber:
Type: PE Silane
0920-00139 RF Generator
0190-08677 RF Generator
0010-36734 Heater
9992-00594 Slit valve
0010-42371 RF Filter
0190-32100 Foreline TV
3870-06775 Foreline ISO
0040-53688 Gas box
0040-95475 Faceplate
0021-26544 Blocker
(2) Pumping liner sides (P/N: 0200-02407; 0200-02408)
0200-06758 Liner ceramic top
0200-02973 Liner ceramic middle
0200-02974 Liner ceramic bottom
0021-27290 Ceramic isolator
0200-03314 Lift pins
0200-03312 Lift hoop
(2) Sapcer sides (P/N: 0021-24181; 0021-24182)
0190-40602 RPS
Gas box:
Line / Gas / Size
3 / TEOS-1 / 7000
4 / TEOS-2 / 7000
6 / NF3 / 5000
8 / Ar / 10000
9 / He-TEOS / 15000
12 / O2 / 15000
18 / Purge02 / -
19 / Purge03 / -
Liquid line temperature:
TEOS-1, 2 Injection: 150°
Heated line-2, 3, 4, 5, 6, 7: 120°
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: 208 VAC, 3-Phase
2015 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT3は、最先端のPECVD（プラズマ強化化学蒸着）原子炉です。誘電体や金属層をシリコンウェーハに堆積させる半導体業界で広く使用されています。また、太陽光発電、医療機器、高度な電子機器などの他の用途にも利用されています。AMAT Producer GT3は効率的で汎用性の高いツールです。これは、2つのチャンバー、ソースチャンバー、反応チャンバーを備えたモジュラー設計を特徴としています。この配置は、前駆ガスとプラズマ処理を堆積プロセスから分離します。この原子炉は低圧と大気圧の両方のプロセス化学が可能であり、幅広い蒸着速度とプラズマ条件を可能にします。それは温度、圧力およびガスの流れの監視に迎合的であるように設計され、精密な制御および一貫した結果を保障します。アプライドマテリアルズ・プロデューサーGT3には、高密度マグネトロンと誘電冷却プラズマ源が搭載されています。この高度な設計により、均一性、再現性、蒸着品質が向上します。さらに、原子炉に大きな基板サイズを扱う能力を与えます。高温セラミックライナーとトップマウントヒーターは、高品質の窒化物と酸化物を生成し、深い紫外線および高Q誘電体システムに最適です。また、敏感な金属やその他のエレクトロニクスアーキテクチャのためのクリーンな動作環境を提供します。生産者GT3は、いくつかの堆積プロセスを実行することができます。これは、金属化、CVD、 PVD（物理蒸着）、ALD（原子層蒸着）、MOCVD（金属有機化学蒸着）などの幅広いプロセスに使用されています。この原子炉は、10 nmから5ミクロン以上の膜厚を達成することができ、高度なデバイス製造に最適です。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT3は、急速なサーマルアニールや急速な熱処理など、幅広い熱処理を行うことができます。これは、スループットとプロセスの信頼性を向上させるためにフォトレジストをアニールするために理想的です。さらに、その高温機能は、良好なウエハ接触と均質なフィルム成長を保証します。結論として、AMAT Producer GT3 PECVDリアクターは強力で汎用性の高いツールです。誘電体や金属層の堆積など、さまざまな用途に対応しています。効率的なツールであり、正確な制御と一貫した結果を提供します。それは高度な電子デバイスを作るための素晴らしい選択です。
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