中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9412145 を販売中

ID: 9412145
ウェーハサイズ: 12"
CVD Systems, 12" Process: TEOS.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTリアクターは、半導体デバイスからデータストレージまでの用途向けに薄膜を成長させるための高度な物理蒸着(PVD)装置です。これは、業界で最も強力で先進的なPVDシステムの1つであり、高出力の電子源と堆積層の優れた均一性を備えています。このシステムは、真空密閉されたチャンバー、部品コンパートメント、電子源、およびリモートコントロールコンポーネント、および高度な制御ユニットで構成されています。チャンバーは、上昇プラットフォーム、ガスボックス、およびガスラインを備えたステンレス製のチャンバーで構成されています。コンポーネントコンパートメントには、電子銃やプローブを含む電子源が収容されています。電子銃は集中した電子の流れを放出し、チャンバー内にプラズマを作り、堆積した物質を蒸発させます。プローブは、電子のエネルギーと空間分布を制御し、高品質の薄い層の堆積を可能にします。コンポーネントコンパートメントは真空タイトエンクロージャに囲まれており、メンテナンスが容易です。チャンバーに接続された真空ポンプは、チャンバーを所望の圧力に排出し、漏れの密度を制御します。チャンバーを維持および制御するために、熱電対とピラニゲージが接続され、チャンバー内の圧力を測定します。機械はまた沈殿プロセスの精密な制御を可能にする洗練された制御用具を含んでいます。この資産は、堆積パラメータの監視と制御を提供する柔軟で階層的なメニュー構造を利用しています。これにより、ユーザーは特定のニーズに合わせて堆積プロセスをカスタマイズすることができます。制御モデルはまた、沈着レシピを格納する機能を備えており、複数の薄膜沈着シーケンスを迅速かつ便利に準備することができます。AMAT Producer GTは使いやすく、メンテナンスも簡単で、標準的な診断とトラブルシューティングツールを利用できます。また、装置はエキスパートレベルのモニタリングソフトウェアと連携して、堆積プロセスに関するリアルタイム情報をユーザーに提供します。このシステムにより、ユーザーは信頼性の高い一貫した薄膜堆積物を迅速かつ簡単に作成できます。APPLIED MATERIALS Producer GTは、PVD業界をリードするユニットであり、高品質の薄膜を蒸着するための信頼性と一貫した方法を提供します。優れた均一性と高出力の電子源、階層的メニュー構造の柔軟性、広範な診断およびトラブルシューティングツール、およびエキスパートレベルの監視ソフトウェアを提供します。
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