中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9400028 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、半導体製造に使用されるスピン・オン誘電蒸着炉です。精度、均一性、信頼性を必要とする様々な用途において、高アスペクト比、厚膜の素早い誘電成膜を可能にするワンステップ装置です。この原子炉は、Ar、 N2、 Heなどの非反応性不活性ガスキャリアを持つ低圧プロセスを利用しています。得られた堆積層は均一で信頼性が高い。沈着は化学反応によって形成される反応性の「前駆体」材料の生産に基づいています。この原子炉は、非常に低いまたは非常に高い蒸着率を提供するように設定でき、幅広いステップカバレッジとフィルムプロファイル制御を提供します。また、ライナー蒸着を最小限に抑えるための高度な機能も備えており、総処理時間を大幅に短縮します。このシステムは、マルチゾーン蒸着チャンバ、炭化ケイ素インテリアサポート構造、反応ガス供給ユニット、高精度スピンオン誘電蒸着機構など、複数のコンポーネントで構成されています。この機械は完全に自動化されたターンキープロセスを提供するように設計されており、費用対効果が高く信頼性の高いフィルム層の堆積を可能にします。チャンバーは、優れたステップカバレッジとフィルムプロファイル制御を提供するように設計されており、プロセスパラメータを調整するさまざまなオプションがあります。チャンバー内部は、複数のガスポート、真空センサ、および高精度の蒸着機構を備え、蒸着の均一性と安定性に最適化されています。炭化ケイ素の内部サポート構造は2250°Cまで温度に耐えるように設計されており、表面汚染なしで薄膜が堆積していることを保証します。反応性ガス搬送ツールは、チャンバー内の反応剤を精密に搬送するための複数の配信チャネルを提供し、安定した信頼性の高い蒸着プロセスを保証します。この資産には、厚さ、蒸着速度、粒度など、プロセスのさまざまなパラメータに関する詳細なレポートを提供するための高度なデータ取得および分析ポータルも装備されています。これにより、ユーザーはプロセスを簡単に監視および制御することができ、高品質の成膜を保証します。AMAT Producer GTは強力で信頼性の高い原子炉プラットフォームであり、さまざまな重要な用途において、薄膜材料の高精度な蒸着を提供します。このモデルは、フィルム層の厚さ、表面粗さ、プロファイル制御、およびその他のプロセスパラメータを厳密に制御し、素材の迅速で安全で信頼性の高い成膜を必要とする人に理想的なソリューションです。