中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9394900 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、さまざまな基板上に薄膜を堆積させるために使用される高真空蒸着装置の一種です。このシステムは、多種多様な金属、ポリマー、誘電体を堆積させるために使用することができます。このユニットは真空チャンバー、ソース材料、基板処理機、およびプロセス制御ツールで構成されています。真空チャンバーは、薄膜堆積が発生する場所であり、通常はステンレス鋼から構成されます。ベースプレート、シャッターアレイ、ガス配分アセット、ソース供給、真空モデルなど、さまざまなコンポーネントを備えています。ソース材料はソース供給内に収容され、シャッターアレイを介して基板に供給されます。基板の搬送装置は、基板をチャンバ間で搬送するために使用され、平らな基板とウェーハの両方を取り扱うことができます。基板は通常、酸化耐性基板マウントに配置され、堆積が発生するように制御された環境を提供します。また、基板ハンドリングシステムにはアライメントユニットが装備されており、大量生産のためにシャッターアレイに対してウェハを正確に配置することができます。プロセス制御装置は、堆積プロセスを制御し、チャンバー内で発生するプロセスを監視するために使用されます。このツールは、真空チャンバ内の温度や圧力、材料流量などの条件を継続的に監視する自動制御アセットで設計されています。プロセスをモニタリングすることで、成膜プロセスを精密に調整し、望ましいフィルムを生成することができます。この装置はまた手動調節のための制御板が装備されています。AMAT Producer GTは、さまざまな薄膜の製造に使用される信頼性の高い堅牢なシステムです。多彩な素材を使用して薄膜を様々な基板に堆積させることができます。プロセスコントロールマシンは、蒸着プロセスに精密な調整を行うことができ、非常に均一で反復可能なフィルムが得られます。また、基板ハンドリングツールは、ウェーハと基板を正確に揃えることができ、薄膜の製造に最適な資産です。