中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9394898 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT （Generation Two）装置は、主に複数の組成変化における薄膜の精密な層を複数の基板サイズに堆積させるために使用される分子ビームエピタキシー（MBE）反応器です。このシステムは、熱、電子ビーム、化学ビーム、およびイオンビーム補助蒸着（IBAD）に依存しており、高性能の薄膜を製造するための強力なツールとなっています。ステンレス製の真空チャンバーは、直径8インチまでの基板と長さ10インチまでのホルダーの両方に対応するように設計されています。ポンプ速度は最大1x103 mbarです。チタン昇華を備えた標準的な4インチドームシャワーヘッドソースは、材料特性評価のための原子蒸着を提供します。AMAT Producer GTには4つの熱注射電池、3つのMo/Be源、2つのeビーム蒸発器があり、様々な蒸着技術の柔軟性を提供しています。1つのセルにはバヨネットヒーターが付いており、温度を1000°Cまで設定できます。このモデルには、ソース寿命を延ばすウルトラハイ真空（UHV）シロゲン絶縁オプションも含まれています。また、原子炉にはビームミキサーが搭載されており、真空チャンバーに導入する前に金属触媒やドーパントの蒸気を混合することができます。材料を機械のビームミックスパスに注入することで、材料の反応性を操作して、目的の薄膜を選択的に堆積させることができます。この機能により、このツールはさらに汎用性が高く、幅広い複雑な化合物を生成することができます。このアセットには、基板を迅速に転送するために設計された個別のロードロックチャンバーも付属しています。4インチおよび8インチのウエハーの範囲の標準的な基板のサイズは速くそして容易に処理することができます。追加のサンプルホルダーも利用できます。最後に、このモデルには49ポイントオンチャンバーのサンプル回転とガスインレット機能も搭載されており、アプライドマテリアルズプロデューサーGTはオールインワンMBE機器となっています。Producer GTは、精密な薄膜を幅広い基板に堆積させるために設計された高性能の分子ビームエピタキシーシステムです。複数の蒸着技術と反応性を操作するためのビームミキサーにより、このユニットは複雑な化合物の生産に大きな柔軟性を提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、高品質の薄膜を迅速かつ簡単に製造したいお客様に理想的な機械です。