中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9383833 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、シリコン含有膜の成膜に使用される高度で高性能なガス炉です。マイクロ波技術を利用して、ウェーハレベルで直接蒸気反応ゾーン（VRZ）を作成し、トランジスタ性能の向上と低い運用コストを実現します。このシステムは、チャンバー、ガス供給システム、電源の3つの主要コンポーネントで構成されています。チャンバーはAMAT Producer GTの心臓部です。2つの区画で構成されています。上部の反応室には、ウェーハを配置する冷却されたサセプターがあります。下部、ポンプ室は、原子炉の安全な動作に必要な機械部品を収容しています。内部の原子炉殻は石英（Si-O2）材料でできており、室内のプラズマ環境に最適です。ガス供給システムは、チャンバー内のガスを輸送します。ガス供給と排気という2つのガスラインで構成されています。供給ラインは、マスフローコントローラ、絶縁バルブ、およびガス流量を高速かつ正確に制御できるコンジットで構成されています。排気ラインは副産物を引き出し、反応ゾーンを維持します。APPLIED MATERIALS Producer GTの電源は、高出力の高周波マイクロ波発電機です。発電機は効率的にプラズマを励起し、沈着の均一性を向上させ、ドーパント変動を低減します。生産者GTリアクターは、ウェーハの処理を非常に高速かつ効率的に行い、トランジスタ性能を向上させます。最先端の技術とコンポーネントを備えたAMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、ウェーハ加工に最適です。