中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9353809 を販売中
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ID: 9353809
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2015
CVD System, 12"
Process: Frontier etcher
2015 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、半導体ベースの材料に薄膜を堆積するために設計された特殊な原子炉です。エッチング、酸化、埋め込み、コーティング、パターニング、沈着など、幅広い産業および研究用途で使用されています。この汎用性の高いツールは、顧客の特定のニーズに合わせたさまざまなプロセスを提供することができます。自動化された装置は作動し易く、信頼性が高く、結果の最高性能そして質を保障します。AMAT Producer GTは、シングルウェーハ、プロセス制御、および化学的に互換性のあるツールであり、最適な薄膜形成とフィルムパラメータの精密な制御を可能にします。高度なプロセス最適化システムを搭載し、幅広い用途に最適な加工条件を簡単に設定できます。このユニットは、一貫した品質と信頼性を確保するために、再現性と精度の高い薄膜を生成するために自動化することができます。このツールは、最大5 cm/分のレートで1つのウェーハ上で最大9つのレイヤーを処理するように設定できます。このツールは、2インチから6インチまでのさまざまな基板サイズにも対応できます。APPLIED MATERIALS Producer GTリアクターは、シリカ、シリコン、ガラス、アルミニウムなどの様々な基板に高精度で均一な薄膜成膜を提供することができます。化学の広い範囲の可用性のために、ツールは、材料のほぼすべてのタイプを処理することができます。また、可変圧力チャンバーを装備しており、薄膜特性を向上させるために環境を調整することができます。このチャンバーは、周囲温度または低温蒸着プロセスにも調整できます。このツールにはユニークなオーバーレイ精度ツールも用意されており、予測可能なオーバーレイ性能を持つ均一な薄膜を可能にします。これにより、デバイスの特性が設計要件で指定されたものと一致することが保証されます。さらに、このツールには、汚染のリスクを低減する低粒子環境が装備されています。Producer GTは、ユーザーが好みの処理結果を達成できるさまざまな機能を備えた高度なツールです。効率的な操作、信頼性の高い性能、多彩な構成により、このツールは薄膜成膜アプリケーションに最適です。
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