中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9352398 を販売中

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、半導体加工アプリケーション向けに設計された堅牢で高スループットプラズマエッチング炉です。この装置は、Advanced Source Technology （AST） Process Moduleを使用しており、異なるエッチングプロセスに対して迅速な切り替えと統合が可能です。このプラズマチャンバーは、幅広いウエハサイズの高エッチングと均一性に最適化されています。システムは、ボウル全体に均一性を提供する高速ターボプラズマ（TP）発電機によって駆動されます。AMAT Producer GTには最先端のモーションコントロールと自動化されたプロセスモニタリングが搭載されており、高精度で再現性の高いプロセス結果を提供します。ユニットの機能には、高精度、双方向のモーションコントロール、ウェーハ処理が含まれ、高精度で厳密に制御されたプラズマプロセス工程を実現します。さらに、APPLIED MATERIALS Producer GTには、高度なin-situエンドポイント機能が搭載されており、重要なプロセスステップの予測プロセス制御を提供します。Producer GTにはPenta-tube Viewportが搭載されているため、ウェーハの積み下ろしや積み下ろしにかかる時間を大幅に削減できます。Penta-viewPortは、さまざまな角度からウェーハ操作を観察するための広い視野領域を提供します。ウェーハは、良好な視野角を確保するために、役割外軸に沿って配置されています。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは工業グレードの生産用に設計されており、特許取得済みの基板シールド技術によって完全にシールされたツール構造を備えています。この機能は、潜在的な汚染や劣化から内部プラズマ環境を効果的に隔離します。また、高度なリモートメンテナンスツールを備えており、リモート診断と効率的な修理が可能です。AMAT Producer GTにはCDAアセットが統合されており、高度なプロセス制御機能を提供します。さらに、APPLIED MATERIALS Producer GTは、信頼性と再現性の高い結果を提供するために、APPLIED MATERIALS高速内部ガス絶縁（HSIGI）技術を特長としています。これにより、プロセス結果の均一性とより大きな制御が可能になります。このモデルはまた、複数点の温度制御と監視を備えており、構成全体にわたって正確で一貫した温度を保証します。Producer GTは、半導体デバイス製造に最適なプロセス結果を提供するために設計された、強力で信頼性が高く効率的なエッチングリアクターです。生産スケールアップとプロセス転送に最適で、大幅な時間短縮とプロセスの改善を実現します。この装置は非常に反復可能な結果を提供し、高度なプロセスモジュール、モーションコントロール、エンドポイント機能を組み合わせることで、高精度な結果を得ることができます。