中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9351133 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、誘電体、ポリマー、金属の蒸着に使用される高度なプラズマ強化化学蒸着（PECVD）原子炉です。生産能力と信頼性を高め、製品品質を向上させ、運用コストを削減するように設計されています。AMAT Producer GTリアクター装置は、ソースチャンバー、蒸着チャンバー、完全自動化されたプロセスチャンバーコントローラ、ガスラインキャビネット、加熱ゾーン制御、中央真空システム、および現場エンドポイント測定（IEM）ユニットを完全なソリューションとして組み合わせています。この原子炉は非常に柔軟であり、大面積の基板からミクロンサイズの特徴まで幅広い材料を処理するために使用することができます。APPLIED MATERIALS Producer GTのソースチャンバーには、高い蒸着率を得るために、複数の統合された高出力RFソースが装備されています。ガス噴射装置は、蒸着速度と界面限界制御を制御するための精密な燃料混合比率を提供するように設計されています。複数のガスラインとデジタルマスフローコントローラにより、反応性および不活性ガス化学を同時に実行するなどの複雑なプロセスを可能にします。原子炉室は、優れたプロセス制御のための非常に小さなソースから基板までの距離で、蒸着プロセスに均一性と再現性を提供するように設計されています。リニアフィールド電磁コイルは、広い領域にわたって高い均一性を提供します。また、独立した加熱ゾーンと直接温度フィードバックで高温均一性を提供するために統合された印象的な温度制御機構を備えています。IEMツールは、基板沈着の究極の制御、現場のプロセスエンドポイントの監視、リアルタイムのフィードバックを提供します。このモニタリングアセットは、広範囲の温度に対して高い感度を持つ堆積率の変化を検出することができます。IEMモデルには、許可されているすべてのプロセスチャンバーのための統合された蒸着プロセスチャンバー大気監視装置もあります。全体として、Producer GTは信頼性の高い自動化されたPECVDシステムであり、非常に高速な蒸着速度で広範囲にわたって正確なプロセス制御と蒸着均一性を提供できます。この原子炉ユニットは、堆積プロセスに高い性能と精度を必要とする科学者やエンジニアにとって魅力的な選択肢です。