中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9311201 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、超高精度材料合成、結晶成長、ナノ構造加工用に設計された半導体加工炉です。4ゾーンの石英管を利用し、ガスと原料の前駆体が別々に流れる動的ガスと材料供給装置を利用した高圧反応プラットフォームです。内部の水晶管は外の管から密封され、隔離され、システムへの安全そして低い汚染を保障します。クォーツチューブは、チャンバー内の粒子の蓄積や凝集を防ぐために発振され、ホットスポットを防ぎ、均一性を高めます。周囲の環境を加圧し、反応性能を最適化するために気化プロセスガスを利用します。同時に、回転ノズルは、精密かつ均一な材料分布を可能にします。AMAT Producer GTは、1900Cまでの温度と最大1,500psiの圧力が可能で、結晶成長、ヘテロエピタキシー、ナノエルディング、ドーピング、スパッタ沈着など、さまざまなプロセスを可能にします。薄膜形成、ナノ粒子製造、フィルムパターニングなどの先端材料開発に特に適しています。高精度材料の納入、迅速なセトリング時間、優れた均一性があります。さらに、統合された光学系は、反応チャンバの正確な光学測定と監視を可能にします。これらの機能を組み合わせることで、半導体デバイスの製造において信頼性の高いプラットフォームと再現可能な結果を提供することができます。アプライドマテリアルズGTはナノコーティング、ナノ粒子、ナノワイヤなどのナノ構造物の生産に適しています。また、金属-有機化学蒸着(MOCVD)を含むヘテロエピタキシャル薄膜蒸着およびマルチステップエピタキシャル成長にも適用可能です。これらのプロセスには、高速セトリング時間と高度な制御機械を備えた高精度の原子炉が必要で、歩留まりと再現性が向上します。Producer GTは、ユーザーフレンドリーなインターフェースと統合された自動化されたプロセス制御により、これとはるかに多くを提供しています。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、精密かつ再現性の高い結果をもたらす革新的なリアクターであり、幅広いナノ構造と最先端材料の製造を最大限の効率で可能にします。信頼性とユーザーフレンドリーな制御ツールにより、原子炉は高度で精密な材料合成と結晶成長を必要とする産業に最適です。また、エピタキシャル薄膜蒸着、金属有機化学蒸着(MOCVD)、ヘテロエピタキシなど、幅広いプロセスで優れた均一性と迅速な沈降時間を提供します。
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