中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9311200 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、薄膜材料の製造に使用される高度な電子ビーム蒸発器です。この機械は電子ビームガンを使用して、るつぼ源のチャンバーからさまざまな基板に材料を蒸発させます。蒸発した材料は、金属から酸化物、窒化物、その他の化合物や有機物まで、固体堆積物から基板上に形成されます。このマシンは、電子ビームガンとソースチャンバーに加えて、いくつかの主要なコンポーネントで構成されています。堆積チャンバーは、材料が堆積され、反応の大部分が行われる場所です。それに精密な温度調整を可能にする2つの独立した暖房地帯、高低熱地帯があります。これは有機および化合物の沈着のために特に重要である。低温ゾーンは、前加熱基板に使用され、堆積材料の接着性と均一性を向上させることができます。RFジェネレータを使用して、広い周波数範囲で蒸着チャンバの大気を励起し、圧力、温度、蒸着速度などのチャンバーパラメータを正確にチューニングできます。これは、精密な薄膜蒸着を保証するのに役立ちます。AMAT Producer GTのもう1つの重要なコンポーネントは、ロードロックチャンバーです。成膜チャンバーから基板を分離し、基板の安全な積み下ろしを可能にする密閉チャンバーです。これにより、原料が堆積チャンバーを汚染するのを防ぎます。真空システムもAPPLIED MATERIALS Producer GTの重要な側面です。真空システムは、材料の沈着を可能にするために蒸着チャンバー内の十分な低圧を維持するために責任があります。また、すべての揮発性汚染物質や粒子がシステムの外側に避難するため、クリーンな環境を提供するのに役立ちます。最後に、Producer GTにはいくつかの安全システムもあります。これらの安全システムは、基板とユーザーの両方の安全性を確保します。これらのシステムには、複数のセンサー、シャットオフバルブ、および安全でない状態が発生した場合にプロセスを監視し、マシンをシャットオフするアラートが含まれます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは高度で信頼性の高い機械であり、さまざまな薄膜材料の精密な堆積を提供するために高度にカスタマイズ可能です。その複数のチャンバー、高度な温度およびRF制御、および安全システムは、さまざまな用途に適した高品質のフィルムを製造するのに理想的な選択肢です。
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