中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9296916 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは半導体製造に使用されるリアクターの一種です。誘電体の超低温層を基板に堆積させるために設計された化学蒸着（CVD）ツールです。この原子炉は、独自の誘導加熱プラットフォームと低圧プロセスチャンバーを使用して、優れた熱性能で安全で再現可能なフィルム蒸着を保証します。さらに、このツールは使いやすさと優れたスループットのために設計されています。AMAT Producer GTは、高出力の電子発電機、誘導コイル、制御された真空環境を備えています。原子炉室内では、プレナムを使用してプロセスガスを分配します。実際には、基板が誘導コイルから最適な距離に配置され、原子炉室内に保持されたときに蒸着が発生します。誘導コイルが作動した後、プロセスガスがチャンバーに導入され、低圧環境が形成されます。その後、基板と誘導コイルの間にプラズマが発生し、基板上に薄膜を堆積させるために必要な熱とエネルギーが得られます。APPLIED MATERIALTS Producer GTは、低基板温度で絶縁薄膜を一貫して堆積するように設計されています。誘導コイルにRFバイアスを追加することで、基板表面からの電子放出を安定させることができます。また、生産者は40°Cの低温を維持し、良好なフィルム加工と優れた密度のコンフォーマル堆積を可能にします。さらに、このツールはプロセススケーリングも可能で、広範囲のチャンバーサイズにわたって反復可能なプロセス性能を提供します。これにより、このツールは、任意の小型または大型基板の製造に使用することができます。追加のボーナスとして、生産者は1つの処理サイクルで複数の薄膜を堆積させるための印象的な能力を提供し、生産性を向上させ、コストを削減します。要するに、Producer GTは、優れた熱性能、使いやすさ、優れたスループットを実現するために設計された堅牢で信頼性の高いCVDツールです。