中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9296911 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTリアクターは、AMATが半導体製造プロセスでより高い生産歩留まりを提供するために開発した先進的な加工装置です。この原子炉は、ガス供給、熱管理、および応用プラズマ技術を組み合わせて、Siベースのエッチングプロセスを制御するための統合ソリューションを作成します。AMAT Producer GTリアクターの中核にはマルチガスがあります。この原子炉は最大8種類のガスを供給することができ、フッ素含有、高貴、ドーパント、およびその他の反応種のシーケンシャルまたは同時配達を伴うマルチステップエッチプロセスでの使用を可能にします。Advanced Mass Flow Controller （AMFC）を活用することで、基板全体で優れた均一性と再現性を実現します。さらに、APPLIED MATERIALS Producer GTリアクターの高度なソフトウェアアーキテクチャにより、プラズマパワー、プロセスレシピなどのパラメータを正確に制御できます。生産者GTリアクターには熱管理が統合されており、プロセス制御の改善だけでなくエネルギー効率の向上も可能です。先進的な位置決めシステムは、アクティブな光学アライメントと拡張基板サポートを備えているため、さまざまなサイズや構成の基板に適しています。液体および高速サイクル温度制御システムは、基板全体および原子炉室全体に優れた温度均一性を提供するように設計されており、ファセティングの問題を防止し、より高いプロセス速度で長時間の動作を可能にします。応用プラズマ技術の面では、AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT原子炉は、同社の実績ある電子サイクロトロン共鳴（ECR）源に基づいて構築されています。これにより、原子炉はより高い電力密度レベルを達成することができ、エッチング率の向上とフィルムの均一性の向上につながります。さらに、ECRソースは、レアガス効率を向上させ、ウェハレベルの欠陥を低減しながら処理を改善します。AMAT Producer GTリアクターは、半導体の研究と生産に最適な高度で汎用性の高いエッチングユニットです。その高度なハードウェアとソフトウェア機能により、原子炉はより高い生産歩留まりを達成するだけでなく、プロセスの再現性と均一性を向上させることができます。機械の熱管理機能が統合されているため、エネルギー効率が向上し、炭素排出量が削減されます。