中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9294490 を販売中
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販売された
ID: 9294490
CVD System, 12"
With (2) twin chambers
Wafer shape: SNNF
Local Center Finder (LCF)
Transfer robot type: GT
Load lock chamber pump type: EPX TWIN 180L
Hard Disk Drive (HDD)
(2) Heaters of FCVD chamber missing
EFEM Chamber with FZ
MKS Astron ex BPSG Chamber
FCVD Chamber
Transfer chamber: 30 mm
Ozone rack
AC Distribution box
(4) Chillers:
THERMO FISHER SCIENTIFIC MX 500W D3
(2) SMC INR–498–012D–X007
SMC INR–496–002D–X007
System rack
(9) Boxes
Frame
PC
Monitor
SMIF/FI:
Type: 5.4
AMHS: OHT
Pre-alignment
Pass through and storage: 8-Slots wafer pass through
(2) Load ports (1 and 4 positions)
FI Controller type:
FE, FI and RT Computer type: IBM 306M
Sub components:
O3 Generator type: MKS ASTEX
Ozone cabinet: INUSA
Heat exchanger type: SMC H2000
Heat exchanger type for O3: MX500
(2) Chambers:
Chamber A:
Type: FCVD Twin
Process: F-Oxide
Heater lift driver: 0190-13840
Isolation (Gate) valve: Nor Cal 041010-1
Throttle valve: MKS T3Bi
RPS Type: MKS Astron e/ex
Manometer: 5 Torr / 100 Torr
Chamber B:
Type: SACVD Twin
Process: HARP USG
Heater lift driver: 1080-00126
Isolation (Gate) valve: Nor Cal 021010-1
Throttle valve: MKS 683
RPS Type: MKS Astron EX
Manometer: 20 Torr / 1000 Torr
Process chamber:
Gas box
Face plate
Blocker plate
Input manifold
Output manifold
Teflon manifold
Ceramic isolator
Heater
RF Filter
Pin lift driver
AC Box
Gas delivery:
Gas pallet type
Regulator
Transducer
Gas pallet configuration:
Chamber A:
Stick position / Gas type / Volume
1 / N2 Purge / -
2 / NF3 / 10 SLM
3 / AR / 10 SLM
4 / N2 / 200 SCCM
5 / O2 / 2.5 SLM
6 / N2 Purge / -
7 / Si3H9N / 1 L
9 / HE / 5 SLM
10 / N2 Purge / -
11 / NH3 / 700 SCCM
12 / NH3 / 1 SLM
14 / H2O / 1g/min
15 / AR / 5 SLM
21 / HE / 5 SLM
22 / N2 Purge / -
Chamber B:
Stick position / Gas type / Volume
1 / N2 Purge / -
2 / NF3 / 7 SLM
3 / AR / 15 SLM
4 / N2 / 5 SLM
5 / N2 / 10 SLM
6 / O3 Out / -
7 / O3 In / -
8 / O2 / 30 SLM
9 / N2 / 30 SLM
10 / H2O In / 10g/min
11 / H2O Out / -
14 / TEOS / 7g/min
15 / N2 / 50 SLM
21 / HE / 3 SLM
22 / N2 Purge / -
Power supply:
Remote AC line: 208 V, 50/60 Hz
Remote UPS
2009 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、材料または材料の組み合わせの薄膜を基板に堆積するためのツールです。この装置は、3チャンバーリアクター、一連のポンプとコントローラ、および高度な熱管理システムで構成されています。この完全なユニットは、材料を基板に正確に堆積させるように設計されています。原子炉の主要なチャンバーは基板を保持し、他の2つの小さなチャンバーは堆積する材料を保持します。この機械は、化学蒸着（CVD）、物理蒸着（PVD）、スパッタリングなど、材料を基板に堆積させるさまざまな技術を使用しています。強力な熱管理ツールにより、成膜技術ごとに材料を適切に加熱および冷却することができます。基板は、堆積する材料とともに、原子炉の主要な堆積室に積み込まれます。材料は適切な温度に加熱され、その後、より小さなチャンバーを介してチャンバーに供給されます。材料の分解によって生成されるガスや蒸気は、排気ラインを通して引き離されます。蒸気と気体が離れていくにつれて、基板は材料の組み合わせの望ましい薄膜でゆっくりと覆われます。このアセットは高度にカスタマイズ可能であり、ユーザーは温度、圧力、ガス流量などのパラメータを調整して堆積物を微調整することができます。AMAT Producer GTのカスタマイズ性により、さまざまな基板上に材料を正確に堆積させることができ、複雑な電子デバイスの製造が可能になります。APPLIED MATERIALS Producer GTは、材料の薄膜を簡単かつ正確に堆積させるために設計されたオールインワンツールです。堅牢な熱管理モデル、カスタマイズ可能なパラメータ、幅広い蒸着技術を備えたProducer GTは、最新のエレクトロニクス製造のための信頼性が高く効率的なツールです。
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