中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9293604 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、マイクロエレクトロニクス業界のフォトレジストやその他の敏感な層を堆積するために使用される水平反応器です。この原子炉は、低熱質量と迅速な回収を提供する高温管状加熱ゾーンを使用して、高スループット処理用に設計されています。AMAT Producer GTはまた、均一な薄膜のための広い領域にわたって真の垂直蒸着のための統合サセプターを備えています。統合されたウェーハディストリビューターと反応チャンバーは、装置全体にわたって一貫した粒子バランスを保証します。APPLIED MATERIALS Producer GTには、スループットと柔軟性を向上させるための個別のローディングおよびプロセス領域を備えた2つの完全にプログラム可能なプロセスチャンバーがあります。また、チャンバー全体で望ましいガスバランスを正確に維持するためのさまざまなプロセスガス制御システムも提供しています。リアクターの片持ち設計は、プロセス・ガスの高度な制御をユーザーに提供し、プロセスの最適化を可能にします。さらに、主要な部屋の温度はプロセス条件によって300°C-960°Cから置くことができます。安全性の観点から、Producer GTはシステム、ステーション、チャンバーレベルでの認証に成功する必要がある多数の安全インターロックを備えています。また、温度センサーを内蔵した冗長な熱安全ユニットも備えています。最後に、AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、RF対応のデータロギングと取得機能を統合し、広範なプロセス監視と制御を可能にしました。結論として、AMAT Producer GTはマイクロエレクトロニクス業界の先進的な機械です。これは、スループットと均一性を向上させ、フォトレジストやその他の敏感な材料を正確に堆積させることを可能にする多数の機能を備えています。また、効率的なプロセス監視と制御のために、プロセスの安全性とデータロギング機能を確保するためのいくつかの安全対策も備えています。